【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电介质阻挡放电灯装置。
技术介绍
电介质阻挡放电灯装置具备多个电介质阻挡放电灯,为了光清洗例如使用半导体晶片、或液晶显示装置中用到的玻璃基板等。作为以往的电介质阻挡放电灯,例如公知:将在内周面设置了电极的玻璃管作为内管、且将在外周面设置了电极的玻璃管作为外管的双管构造(参照专利文献I);和在角筒状的玻璃管的大致半周面具备网格状电极、且在相反侧的半周面具备满电极的单管构造(参照专利文献2)。专利文献1:日本特开2003-257375号公报专利文献2:日本特开2005-322632号公报
技术实现思路
(专利技术要解决的课题)上述专利文献I以及2所记载的任何电介质阻挡放电灯都是在内部封入了放电气体的玻璃管中使一对电极一体化而成的构造。这些灯是按如下方式制造的,即:在玻璃管内填充了放电气体的状态下熔敷玻璃管的端部来进行密封,进而在该玻璃管的表面例如通过蒸渡或溅射来附着一对电极,在这一对电极之上钎焊从连接器向各电极导出的导线。这样,不仅经过玻璃管的气体密封工序还需要经过电极形成工序以及导线安装工序,因此以往的电介质阻挡放电灯不得不变得非常昂贵。此外,在电介质阻 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.30 JP 2010-2212571.一种电介质阻挡放电灯装置,其特征在于,具备: 灯罩,其具有光照射开口; 网格状电极,其设置于该灯罩的所述光照射开口、且由多孔状的导电体构成; 放电容器,在透光性的容器中封入放电气体而形成; 放电容器保持部件,其在与所述网格状电极之间夹持该放电容器、且与所述放电容器独立形成; 电极部件,其被配置在夹着所述放电容器而与所述网格状电极对置的位置;和 电源装置,其在所述网格状电极与所述电极部件之间施加放电用的电压, 所述放电容器被所述网格状电极支撑。2.根据权利要求1所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 所述网格状电极为板材。3.根据权利要求1或2所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 在所述灯罩中,和所述网格状电极的与所述放电容器相反侧的面相接来支撑所述网格状电极的支撑部件被设置于与所述放电容器偏离的位置。4.根据权利要求1至3任一项所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 具备多个所述放电容器,所述网格状电极被设置成与多个所述放电容器相接。5.根据权利要求1至4任一项所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 具备多个所述放电容器,所述电极部件被设置成与多个所述放电容器相接。6.根据权利要求3至5任一项所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 所述支撑部件沿着所述放电容器的整个长边方向设置。7.根据权利要求1至6任一项所述的电介质阻挡放电灯装置,其特征在于, 所...
【专利技术属性】
技术研发人员:畑濑和也,金森佳宪,
申请(专利权)人:株式会社杰士汤浅国际,
类型:
国别省市:
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