准分子灯制造技术

本发明专利技术提供一种准分子灯，防止紫外线反射膜的反射膜形成开始 区域从放电容器剥落，可长时间地维持准分子光的放射光量。该准分 子灯(10)具备具有放电空间(S)的由二氧化硅玻璃构成的放电容器 (11)，在介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的状态下设有 一对电极(15、16)，而且在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电 容器(11)的放电空间(S)内发生准分子放电，在暴露于放电容器(11) 的放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子所形成的 紫外线反射膜(18)，紫外线反射膜(18)的反射膜形成开始区域(19) 的膜厚比反射膜形成开始区域(19)以外的部分的膜厚薄。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及准分子灯，尤其是具有由二氧化硅玻璃构成的放电容 器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极， 在上述放电容器的内部发生准分子放电的准分子灯。
技术介绍
近年来，开发了通过将波长200nm以下的真空紫外光照射在由金 属、玻璃及其它材料构成的被处理体上从而利用该真空紫外光及由其 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 的表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术正在实用化。作为照射真空紫外光的装置，例如将通过准分子放电形成准分子 分子、利用从该准分子分子放射的光如波长170nm附近的光的准分子 灯作为光源使用，在这种准分子灯中，为了更有效率地放射更高强度 的紫外线，实施了很多尝试。图7表示专利文献1所示的准分子灯30的概略构成，图7 (a)是 沿着准分子灯的长边方向的剖面图，图7 (b)是表示由图7 (a)的A-A 的剖面观察的剖面图。如该图所示，该准分子灯30具备由透射紫外线的二氧化硅玻璃构 成的外形为竹轮状的放电容器31，在放电容器31的外侧管32与内侧 管33分别设有电极34与电极35。在暴露于放电容器31的放电空间S 的表面上形成有紫外线反射膜37，而作为紫外线反射膜37，示出了仅 由二氧化硅粒子构成的膜，及仅由氧化铝粒子构成的膜的实施例。在该准分子灯30中，在放电容器31的一部分上，由未形成有紫外线反 射膜37的光出射部36射出在放电空间S内产生的紫外线。根据该准分子灯30，在暴露于放电容器31的放电空间S的表面 上设有紫外线反射膜37，由此在设有紫外线反射膜37的区域中，在放 电空间S内产生的紫外线被紫外线反射膜37反射，因而不会入射到二 氧化硅玻璃。与此相对地，仅在构成光出射部36的区域中，紫外线透 射二氧化硅玻璃并被放射至外部，因而可有效地利用在放电空间S内 产生的紫外线。而且可将构成光出射部36以外的区域的二氧化硅玻璃 的紫外线失真所致的损坏抑制成较小，可防止产生裂痕。专利文献l:日本专利第3580233号公报然而，在如图7所示的准分子灯中，当点亮准分子灯时，会产生 紫外线反射膜37的端部38剥落的问题。由紫外线反射膜37剥落的切 片停留在放电容器31内，也会滞留在作为光出射部36的部分的放电 容器31的内表面。由光出射部36放射的准分子光被从紫外线反射膜 37剥落的切片遮住，因而准分子灯的放射光量会减少。并且，放电容 器31内表面上形成有紫外线反射膜37的区域减少，也成为准分子灯 的放射光量减少的原因。
技术实现思路
本专利技术的目的在于鉴于上述问题，提供一种能够防止紫外线反射 膜的反射膜形成开始区域从放电容器剥落，可长时间地维持准分子光 的放射光量的准分子灯。本专利技术为了解决上述课题，采用如下方案。第1方案是一种准分子灯，具备具有放电空间的由二氧化硅玻璃 构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的 放电空间内发生准分子放电，其特征在于在暴露于上述放电容器的 放电空间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外 线反射膜，上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚比该反射 膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄。第2方案是在第1手段的准分子灯中，其特征在于，上述紫外线 反射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度，比上述反射膜形成开始 区域以外的部分的氧化铝浓度小。第3方案是在第2方案的准分子灯中，其特征在于，上述紫外线 反射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度是10wt。/。以下。第4方案是在第1至第3方案的任一方案的准分子灯中，其特征 在于，上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚为21pm以下。第5方案是在第1方案的准分子灯中，其特征在于，将上述紫外 线反射膜的反射膜形成开始区域的上述二氧化硅粒子的中心粒径设为 A，将上述氧化铝粒子的中心粒径设为B时，满足A/B〈10的关系。根据第1方案所述的专利技术，紫外线反射膜通过使反射膜形成开始 区域的膜厚比该反射膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄，可提高与 放电容器的粘合性。并且，在上述反射膜形成开始区域以外的部分， 紫外线反射膜的膜厚充分厚，能够确保反射性能，因而可提高准分子 灯的准分子光的放射光量。根据第2方案所述的专利技术，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的氧化铝浓度比该反射膜形成开始区域以外的部分的氧化铝浓 度小，可提高与放电容器的接合力，防止反射膜形成开始区域的紫外 线反射膜从放电容器剥落。并且，在反射膜形成开始区域以外的部分能够维持相邻的二氧化硅粒子与氧化铝粒子的晶界，因而即使在长时 间点灯时，也可维持准分子光的放射光量。根据第3方案所述的专利技术，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的氧化铝浓度为10wtM以下，可更确实地防止紫外线反射膜从二氧化硅破璃构成的基材剥落。根据第4方案所述的专利技术，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的膜厚为21pm以下，则可更确实地防止紫外线反射膜从二氧化 硅玻璃构成的基材剥落。根据第5方案所述的专利技术，通过使紫外线反射膜的反射膜形成开 始区域的二氧化硅粒子的中心粒径为氧化铝粒子的中心粒径的10倍以 下，轻的二氧化硅粒子滞留在放电容器的短边面或端面的内表面区域， 重的氧化铝粒子容易滞留在作为底面的长边面的内表面区域，可防止 紫外线反射膜从短边面或端面的内表面区域剥离，而且可使来自长边 面的内表面区域的紫外线反射膜的反射确实。附图说明图1是表示一个实施方式的准分子灯10的概略构成的剖面图。图2是放大表示形成在图1所示的放电容器11的短边面13b的紫 外线反射膜18的一部分的局部放大剖面图。图3是表示通过扫描型电子显微镜(SEM)观察的粒子的放大投 影图像的一例子的图。图4是用以说明为了在放电容器11的内表面区域形成紫外线反射 膜18而流入涂布液的状态的说明用剖面图。图5是表示实验例1的结果的表。图6是表示实验例2的结果的表。图7是表示已知技术的准分子灯30的概略构成的剖面图。具体实施例方式使用图1至图6来说明本专利技术的一个实施方式。图1是表示本实施方式的专利技术的准分子灯10的概略构成的图，图1 (a)是表示沿着准分子灯10的长边方向的剖面图，图1 (b)是表示 从图1 (a)的A-A的剖面观看的剖面图。如该图所示，准分子灯IO具备两端被气密地封闭而在内部形成有 放电空间S的剖面为矩形的中空长尺状的放电容器11，在放电容器11 的内部作为放电用气体封入有氙气体。氙气体是的封入量为压力达到 例如10 60kPa (100 600mbar)的范围内。放电容器11由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃例如合成 石英玻璃构成，具有作为介电体的功能。并且，放电容器ll形成为 由长尺状板玻璃构成的长边面12a、 12b相对配置，由连接长边面12a 与长边面12b的短边面13a、 13b形成剖面为矩形的管。长边方向的两 端由端面14a、 14b封闭，形成放电空间被气密地密封的放电容器11。在放电容器11的长边面12a、 12b的外表面上， 一对格子状电极 15、 16向着放电容器11的长边方向延伸地相对形成。在长边面12a的 外表面上配置有作为高电压供电电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子灯，具备具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于：　在暴露于上述放电容器的放电空 间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，上述放电容器的上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚比该反射膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤泽繁树，森本幸裕，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP