【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子灯，尤其是具有由二氧化硅玻璃构成的放电容 器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极， 在上述放电容器的内部发生准分子放电的准分子灯。
技术介绍
近年来，开发了通过将波长200nm以下的真空紫外光照射在由金 属、玻璃及其它材料构成的被处理体上从而利用该真空紫外光及由其 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 的表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术正在实用化。作为照射真空紫外光的装置，例如将通过准分子放电形成准分子 分子、利用从该准分子分子放射的光如波长170nm附近的光的准分子 灯作为光源使用，在这种准分子灯中，为了更有效率地放射更高强度 的紫外线，实施了很多尝试。图7表示专利文献1所示的准分子灯30的概略构成，图7 (a)是 沿着准分子灯的长边方向的剖面图，图7 (b)是表示由图7 (a)的A-A 的剖面观察的剖面图。如该图所示，该准分子灯30具备由透射紫外线的二氧化硅玻璃构 成的外形为竹轮状的放电容器31，在放电容器31的外侧管32与内侧 管33分别设有...
【技术保护点】
一种准分子灯，具备具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于： 在暴露于上述放电容器的放电空 间的表面上，形成有由二氧化硅粒子与氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，上述放电容器的上述紫外线反射膜的反射膜形成开始区域的膜厚比该反射膜形成开始区域以外的部分的膜厚薄。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤泽繁树，森本幸裕，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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