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准分子灯制造技术
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文档序号:3772246
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本发明提供一种准分子灯,防止紫外线反射膜的反射膜形成开始 区域从放电容器剥落,可长时间地维持准分子光的放射光量。该准分 子灯(10)具备具有放电空间(S)的由二氧化硅玻璃构成的放电容器 (11),在介设有形成放电容器(11)的二氧化硅玻璃的...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。
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