提供具备准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，该准分子灯被靠近配置于被照射物的导线保持体。一种准分子灯包括：具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体的放电容器；设于上述上下两表面的外部电极；及设于放电容器的端部侧的引线保持体，其特征为：引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由引线保持部与平坦支撑部夹持放电容器，引线保持部是将与一个外部电极电连接的一个引线保持在与放电容器的一个面之间，平坦支撑部是与另一个外部电极电连接，而且抵接于放电容器的另一个平坦面。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，特别涉及在准分子 灯的端部具备灯保持部的准分子灯及具备该准分子灯的灯单元。
技术介绍
在传统工艺中，如专利文献1所示，在半导体基板或液晶基板的制作 工序中，将清洗基板作为目的，使用具备照射真空紫外线的准分子灯的灯 单元。图20是表示从与现有技术的准分子灯103的长度方向正交的切剖面观 看的紫外线照射装置100的结构的剖面图，图21是表示从图20所示的E 一E切剖面观看的紫外线照射装置100的剖面图。如这些图所示，紫外线照射装置100由灯单元101(图上方)及搬运机构 102(图下方)构成，该灯单元101在大约箱状地构成的筐体104内具备准分 子灯103，该搬运机构102是载置灯单元101且搬运被照射物W。如这些图所示，灯单元101包括由设置于灯单元101的筐体104内部 的多支准分子灯103，及收容准分子灯103且加以保持的筐体104。准分子 灯103通过灯保持体111经隔间壁110被支撑于筐体104。搬运机构102具 备多个滚子109，载置灯单元101的筐体104，而且并列配置于内部；以 及驱动体IIO，设于各滚子109的两端，而且旋转驱动滚子109。从搬运机 构的搬入口被搬入的被照射物W，被载置于滚子109上，通过滚子109被 旋转驱动，被搬入至准分子灯103的正下方。被搬入的被照射物W是与准 分子灯103靠近，被照射来自准分子灯103的真空紫外线。被真空紫外线 照射的被照射物W被从搬出口搬出。图22是表示图20及图21所示的准分子灯103的立体图，图23是表 示图21所示的准分子灯103的一个端部(被圆圈包围的部位)的放大剖面图， 图24是表示从图23所示的F—F切剖面所观看的准分子灯103的一个端部 的剖面图。如这些图所示地，准分子灯103具备大约长方体的放电容器105，而相 对于其长度方向的垂直方向的剖面为长方形，而在放电容器105的上下两 表面，以沿着放电容器的长度方向延伸的方式，设有网状的一个外部电极 106及另一个外部电极107。在放电容器105的两端，设有引线保持体112， 该引线保持体112保持一个引线114及另一个引线115，该一个引线114连 接于一个外部电极106，该另一个引线115连接于另一个外部电极107，而 从引线保持体112能够拉出一个引线114及另一个引线115。专利文献1:日本特开2005—197291号公报一般，图22所示的准分子灯103中设的引线保持体112具备如下所示 的3种功能。 一般，第l种功能是由于引线114、 115与外部电极106， 107利用焊剂的焊接被电连接，因而由于要确保维持两者的连接，就需要保 持引线114、 115，例如，将被连接于准分子灯103的外部电极106、 107的 引线114、 115设置于放电容器105与引线保持体112之间，而将引线114、 115压接在放电容器105与引线保持体112之间并予以保持。第2种功能是: 被固定于放电容器105的功能，例如，在引线保持体112与放电容器105 之间的空隙填充粘合剂116，而把引线保持体112固定在放电容器105的外 表面。第3种功能是防止放电容器105外表面的外部电极106、 107间的 绝缘击穿的功能，例如，抵接于引线114、 115的引线保持体112由具有电 绝缘性的构件所构成，防止放电容器105外表面的外部电极106、 107间的 沿面放电。图21至图24的现有技术的引线保持体112，是具备上述的第1种至第 3种的功能，在准分子灯103与被照射物W相对配置的灯单元101中，为 了使得从准分子灯103照射在被照射物W的真空紫外线，尽量不会被氧气 吸收而有效率地被照射在被照射物W，必须尽量靠近地配置准分子灯103 与被照射物W。准分子灯103与被照射物W间的距离，是例如必须靠近在 3 5mm的范围。但是，图21至图24的现有技术的引线保持体112，为具 有如陶瓷的电绝缘性的构件所构成，则从放电容器105的平坦面会突出着 引线保持体112的厚度部分，而该厚度部分会使得准分子灯103与被照射 物W间的距离L10的靠近化变得困难。SP，引线保持体112的第4中功能 是必须构成为不会对准分子灯103与被照射物w的靠近配置构成妨碍。
技术实现思路
本专利技术的目的是鉴于上述问题点，提供一种准分子灯及具备该准分子 灯的灯单元，该准分子灯具备可将准分子灯与被照射物间的距离靠近配置在0.1~5mm的范围的引线保持体。本专利技术为了解决上述课题，而采用如下的方案-第1方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体； 一个外部电极，设 于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上下两表面中 的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧，其特征为上述引线保持体包括电绝缘性的引线保持部与金属薄板所成的 平坦支撑部，通过由上述引线保持部与上述平坦支撑部夹持上述放电容器， 上述引线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述 一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦支撑部是 与上述另一个外部电极电连接，而且抵接于上述放电容器的上述另一个平 坦面。第2方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，且具有屈曲部，形成于在该上下两表面之间形 成的弯曲面上或上述上下两表面间，并且在该放电容器内部封入发光气体; 一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于 上述上下两表面中的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的 至少一个端部侧，其特征为上述引线保持体是由平坦侧支撑部所构成， 该平坦侧支撑部包括具有电气绝缘性的引线保持部与具有弹性的金属薄 板，通过由上述引线保持部与上述平坦侧支撑部夹持上述放电容器，上述 引线保持部是将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一 个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦侧支撑部是 将另一个引线保持在与上述放电容器的上述另一个平坦面之间，该另一个 引线与上述另一个外部电极电连接。第3方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体； 一个外 部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上 下两表面中的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧，其特征为上述引线保持体是由扩径支撑部所构成，该扩径支 撑部由具有电绝缘性的引线保持部，及被填充固化于该引线保持部与上述 放电容器之间的粘合构件所形成，通过将粘合构件填充固化于上述引线保 持部与上述放电容器之间，上述引线保持部是将一个引线保持在与上述放 电容器的上述一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述 扩径支撑部是将另一个引线保持在该扩径支撑部内，该另一个引线与外部 电极部分电连接，该外部电极部分从上述另一个外部电极连续并延伸至扩 径部，该扩径部形成于放电容器的侧面。第4方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体； 一个外 部电本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种准分子灯，具备： 放电容器，具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体； 一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面； 另一个外部电极，设于上述上下两表面中的另一个平坦面；及 引线保持体， 设于上述放电容器的至少一个端部侧， 其特征在于： 上述引线保持体包括：具有电绝缘性的引线保持部；及金属薄板所形成的平坦支撑部， 通过由上述引线保持部与上述平坦支撑部夹持上述放电容器，上述引线保持部将一个引线保持在上述引线保 持部与上述放电容器的上述一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接， 上述平坦支撑部与上述另一个外部电极电连接，而且抵接于上述放电容器的上述另一个平坦面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：石原肇，竹添法隆，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。