一种大尺寸准分子灯制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，所述准分子灯本体上具有密封放电容器的一端设有密封部，且准分子灯本体的另一端设有端头部，所述密封部和发光部构成发光管，所述发光部的外表面配置电镀金箔的外部电极，且发光部的内部配置网状内部电极，所述外部电极采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极的两端与埋设在密封部内部的金属箔连接并由密封部的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线。本实用新型专利技术可以实现大功率准分子光源的设计和生产，长度尺寸可以根据具体应用设计调整。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸准分子灯
本技术涉及准分子灯
，具体为一种大尺寸准分子灯。
技术介绍
随着科技的发展，特别是半导体，液晶，光伏等产业的发展，产生了新的工业需求，液晶面板，半导体晶片，光伏硅片逐渐大型化，批量化生产，需要在工艺处理中使用紫外线进行清洁，刻蚀等处理，并且需要实现灯的长寿命化。因此，准分子灯作为一种为液晶面板基板，半导体晶片，光伏硅片等进行清洁，蚀刻等基板处理的先进技术手段而受到关注。准分子灯作为主要放射波长200nm以下的真空紫外光的光源，已被用于多种用途中。目前，现有技术中的准分子灯，一般由发光部，外部电极，内部电极构成。发光管由在内部封入有发光气体的发光部和在所述发光部的两端部形成的密封部构成，外部电极配置在所述发光部的外表面上，内部电极配置在所述发光部的内部。但是，市面上现有的准分子灯在设计和生产方面，都是小尺寸，灯体设计复杂，且供电方式不灵活，不利于工业现场使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种大尺寸准分子灯，可以实现大功率准分子光源的设计和生产，经样品测试可以实现最大500W的功率，波峰在172nm，光源表面光照强度可达40mW/cm2，寿命超过3000小时，长本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，其特征在于：所述准分子灯本体上具有密封放电容器(1)的一端设有密封部(2)，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部(3)，所述密封部(2)和发光部(4)构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部(4)的外表面配置电镀金箔的外部电极(5)，且发光部(4)的内部配置网状内部电极(6)，所述外部电极(5)采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极(6)由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极(6)的两端与埋设在密封部(2)内部的金属箔连接并由密封部(2)的玻璃支撑，所述...

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸准分子灯，包括准分子灯本体，其特征在于：所述准分子灯本体上具有密封放电容器(1)的一端设有密封部(2)，且准分子灯本体的另一端形成有作为排气端头余部的端头部(3)，所述密封部(2)和发光部(4)构成发光管，所述发光管采用石英玻璃制成，所述发光部(4)的外表面配置电镀金箔的外部电极(5)，且发光部(4)的内部配置网状内部电极(6)，所述外部电极(5)采用在紫外高秀石英上电镀金箔并覆盖在发光管的周围而沿轴向延伸，所述内部电极(6)由在发光管的内部沿管轴中心配置的杆状石英管支撑并在石英管上缠绕钼网，所述内部电极(6)的两端与埋设在密封部(2)内部的金属箔连接并由密封部(2)的玻璃支撑，所述金属箔的另一端连接外部引线(7)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏金飞，姜汉兵，
申请(专利权)人：上海开若纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31