准分子放电灯制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种可抑制对排气管的放电的准分子放电灯，第１发明专利技术涉及的准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、ＹＡＧ或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、ＹＡＧ或单晶氧化钇构成的隔离体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过准分子放电而放射紫外线的准分子放电灯。尤其涉及一种放 电容器由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成的准分子放电灯。
技术介绍
现有技术中，在光清洗、表面改性及化学物质感光等光化学反应的用途中，准分子 放电灯作为紫外线光源使用。作为该准分子放电灯的发光气体，公知封入例如氙气这样的 稀有气体、及例如氟化物这样的卤化物。卤素或卤化物在点灯时被电离，变为卤素离子，与 其他物质的反应性变得极高。因此，准分子放电灯需要对封入卤素或卤化物的放电容器进 行研究。作为进行了研究的准分子放电灯，包括专利文献1所述的灯。图10是专利文献1所述的准分子放电灯9的说明图，是表示灯端部的截面图。准分子放电灯9具有由蓝宝石管构成的放电容器91 ；设置在该放电容器91两端 的钛制罩911 ；以及在该放电容器91的外面分离设置的金属网931、932。放电容器91用氟树脂系的0形环921将钛制罩密封，在放电容器91的内部形成 气密的放电空间。在该放电空间中，作为放电用气体填充氙气和氯气。金属网931、932连接到未图示的电源，施加高频、高电压，开始放电。在放电空间 中，产生准分子放电，获得源自氙和氯的300-320nm的波长区域的紫外线。蓝宝石管91具有紫外线透过性，因此向灯9的外部放射准分子放电产生的紫外线。专利文献1 日本特开平06-310106号公报在上述准分子放电灯9中，为了向放电空间封入放电用气体，需要在钛制罩911上 设置排气管。因此作为准分子放电灯的整体图如图11所示。对图11省略与图10共同部分的说明，而说明不同的部分。放电容器91的一端设置的钛制罩911上，与放电空间连通的排气管94例如通过 钎焊等连接。在放电空间中通过该排气管94封入放电气体。封入后，为了密封放电空间， 密封切断排气管94，形成图11所示的密封部941。排气管94使用可进行密封切断的部件，例如使用金属。使图11所示的准分子放电灯9点灯时，存在一对金属网931、932之间无法放电的情况。这是因为，灯点灯时，向一个金属网931施加高电压，但相对该高电压，排气管94 是低电压，因此在一个金属网931和罩911或排气管94之间产生放电。专利文献1记载了可用高纯度氧化铝制造罩911的情况，但排气管94必须可密封 切断，因此只能用金属部件来制造。这样一来，至少在一个金属网931和排气管94中产生放电，因此排气管94被加热，罩911和排气管94之间的钎焊处可能产生热膨胀差而破损。并且，即使罩911和排气管94之间不破损时，由于排气管94被加热，经由罩911， 0形环921也被加热，0形环921劣化，难以保证放电容器91的气密性。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种可抑制对排气管的放电的准分子放电灯。第1专利技术涉及的准分子放电灯由以下构成在内部具有放电空间的放电容器；设 置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或 卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极 的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁 构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、YAG或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构 成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝 宝石、YAG或单晶氧化钇构成的隔离体。第2专利技术涉及的准分子放电灯的特征在于，在第1专利技术中，该隔离体和该放电容器 构成的流路弯曲。第3专利技术涉及的准分子放电灯的特征在于，在第1或第2专利技术中，在位于设置了该 一对电极的侧壁的内表面和排气管之间的最短距离之间的该端壁上，设置有由蓝宝石、YAG 或单晶氧化钇构成的间隔壁。第1专利技术涉及的准分子放电灯通过上述特征，在设置了一对电极的内表面和排气 管之间可提高电阻，可抑制对排气管的放电。第2专利技术涉及的准分子放电灯通过上述特征，设置了一对电极的侧壁的内表面和 排气管的沿面距离变长，可抑制沿面放电造成的对排气管的放电。第3专利技术涉及的准分子放电灯通过上述特征，在设置了一对电极的内表面和排气 管之间可进一步提高电阻，抑制对排气管的放电。附图说明图1是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图2是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图3是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图4是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图5是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图6是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图7是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图8是本专利技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图9是实验结果的说明图。 图10是现有技术涉及的准分子放电灯的说明图。 图11是用于说明专利技术课题的准分子放电灯的说明图。具体实施例方式图1是第1实施例涉及的准分子放电灯的说明图，是沿着放电容器2的长边方向 的截面图。图2是图1的灯1的A-A截面图。第1实施例涉及的准分子放电灯1具有直管状的放电容器2、设置在该放电容器 2的另一端的排气管4、在该放电容器2的外表面分离设置的一对电极31、32。该放电容器2由直管状的侧壁21、设置在侧壁21的一端的板状的一个端壁221、 设置在侧壁21的另一端的环状的另一个端壁222构成，通过蓝宝石(单晶氧化铝A1203)、 YAG(钇铝石榴石)或单晶氧化钇Y203)形成。另一个端壁222上设置贯通其中央的孔222b。排气管4的外周的一部分插通到端壁222的孔222b。对形成孔222b的面实施金属化，与排气管4之间例如填充银焊料等焊材。排气管4 由例如镍等金属部件、例如不锈钢等合金部件形成，因此通过焊材与实施了金属化的面焊接。此外，作为连接金属和陶瓷的方法包括活性金属法，排气管4和另一个端壁222的 连接也可使用该活性金属法结合。具体而言，作为焊材使用包括钛等活性金属的活性金属 焊料，形成有孔222b的面和排气管4通过该活性金属焊料接合。在该活性金属法中，也可 对形成孔222b的面不实施金属化。排气管4的另一个端部(纸面右侧的端部)通过压接形成密封部41。这样一来， 在放电容器2的内部设置气密的放电空间23。该放电空间23中作为放电用气体例如封入氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等稀有气体， 例如氟(F2)、氯(Cl2)、溴(Br2)、碘(12)等卤素或六氟化硫(SF6)等卤化物。放电容器2的外表面如图2所示，一对电极31、32彼此分离地配置。这样一来，一 对电极31、32通过放电容器2的侧壁21和放电空间23相对配置。在放电容器2的内部，设置环状的隔离体8，以使其位于设置了一对电极31、32的 侧壁21的内表面211和排气管4的最短距离L之间。该隔离体8由蓝宝石(单晶氧化铝 A1203)、YAG(钇铝石榴石)或单晶氧化钇(Y203)形成。隔离体8可通过下述挤压/加热与放电容器2的内表面接合，并且例如也可通过 由丙烯粘合剂构成的粘合剂粘合到放电容器2的内表面。此外，第1实施例的最短距离L如图2所示，是指在设置了 一对电极31、32的侧壁 21的内表面211中，最接近排气管4的部分与最接近该部分的排气管4的部分(图2中纸 面左侧的一个端部)之间。在第1实施例中，放电容器2的形状是与长边方向正交的截面 是方形的长方体状，因排气管4的形状是圆管状，因此如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子放电灯，由以下构成：在内部具有放电空间的放电容器；设置在该放电容器的外表面的一对电极；以及封入到该放电空间，至少由稀有气体及卤素或卤化物构成的放电用气体，该准分子放电灯的特征在于，该放电容器由设置有该一对电极的管状的侧壁、密封该侧壁的一端的一个端壁、以及设置在该侧壁的另一端的另一个端壁构成，该侧壁和一对端壁由蓝宝石、ＹＡＧ或单晶氧化钇构成，另一个端壁上设置有由金属构成的排气管，在设置了该一对电极的侧壁的内表面和排气管的最短距离之间，设置有由蓝宝石、ＹＡＧ或单晶氧化钇构成的隔离体。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森本幸裕，森安研吾，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]