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本发明提供一种具有平面状UV光源的紫外光照射装置，在该光源中，UV光的照射强度能够在更宽的范围内进行微调。本发明的紫外光照射装置包括UV光源和保持该平面状UV光源的壳体。在UV光源中，多个等离子体细管相互平行地布置在电极支撑片上，在每一个等...
该专利属于筱田等离子有限公司;株式会社优美科思所有，仅供学习研究参考，未经过筱田等离子有限公司;株式会社优美科思授权不得商用。

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