【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在薄膜上形成有压电体的压电元件、具有压电元件的压电传感器、电子设备以及压电元件的制造方法。
技术介绍
目前众所周知有这样的压电元件(超声波元件)在支撑膜上层压压电体，向压电体施加电压使其振动，从而使支撑膜振动，输出超声波(例如，参见专利文献1)。该专利文献1的超声波元件具有压电振子，所述压电振子是在隔膜上通过电极金属膜将压电体薄膜夹在中间。该超声波元件通过对上层和下层的电极金属膜施加电压，从而使压电体薄膜振动，形成压电体薄膜的隔膜也进行振动，输出超声波。在先技术文献日本专利文献特开2006-2^901号公报但在制造上述专利文献1的超声波元件时，一般在隔膜上面形成下层的电极金属膜，并在其上层形成压电体薄膜，之后，对该压电体薄膜进行蚀刻处理，从而图案化成规定形状。上层的电极金属层的形成也一样，在下层的电极金属膜、压电体薄膜的上层形成电极金属层，对该电极金属层进行蚀刻处理，从而图案化成规定形状。但是，在上述的反复蚀刻的方法中，在进行压电体薄膜的蚀刻和上层侧的电极金属层的蚀刻时，也蚀刻到了下层侧的电极金属层(过蚀刻)，下层的电极金属膜的膜厚变小。一旦电极金...
【技术保护点】
１．一种压电元件，其特征在于，包括：支撑体，具有能够沿厚度方向变位的变位部；下部电极层，在从所述变位部的厚度方向观察所述支撑体的平面图中，所述下部电极层在所述支撑体上具有设置在所述变位部的外周边缘的内侧区域的下部电极主体部以及与所述下部电极主体部连接并从所述变位部的外周边缘的内侧区域跨到外侧区域设置的下部电极丝部；第一压电体层，在所述平面图中，在所述变位部的外周边缘的内侧区域中设置在所述下部电极主体部上；上部电极层，在所述平面图中，从所述变位部的外周边缘的内侧区域跨到外侧区域，所述上部电极层的至少一部分层压在所述第一压电体层上且与所述下部电极层绝缘；以及第二压电体层，被设置...
【技术特征摘要】
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