下载压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法的技术资料

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本发明提供一种压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法。压电元件包括:支撑体,具有能够沿厚度方向变位的变位部;下部电极层,形成在上述支撑体上,在平面图中,具有设置在所述变位部内的下部电极主体部以及与所述下部电极主体部连接并跨到外侧...
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