大口径凸非球面两轴拼接测量装置制造方法及图纸

大口径凸非球面两轴拼接测量装置属于光学检测领域；包括：隔振基座、光 学波面干涉仪；还包括：安装在隔振基座上的立式超精密气浮回转台和卧式超精 密回转轴；卧式超精密回转轴上固定有Z型悬臂梁，其末端固定有直线导轨， 直线导轨上配置光学波面干涉仪；立式超精密气浮回转台的回转轴线与卧式超精 密回转轴的回转轴线正交，干涉仪光轴通过其交点；被测非球面的光轴与立式超 精密气浮回转台的回转轴线重合，且非球面近球心点、干涉仪的测量波前焦点、 卧式超精密回转轴的回转轴线与立式超精密气浮回转台的回转轴线的交点，三点 重合或或立体同心度非常小；该方案机构简单，测量链短，利用回转运动的精度 优势，可实现大口径凸非球面的高精度检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学检测
，主要涉及一种大口径凸非球面两轴拼接测量 装置。
技术介绍
非球面光学元件具有提高系统成像质量、校正像差、增大系统的相对口径、 扩大视场角等优点，同时还能够简化光学系统、减小系统外形尺寸、减少重量、 降低光学系统成本、减少光能损失，因此在现代光学系统中得到了越来越广泛的 应用。特别是在空间相机、天文望远镜、地基空间目标探测与识别、激光武器系 统、惯性约束聚变等领域中，非球面器件已经成为决定系统性能的关键元件。非球面表面面形质量高精度检测是广泛应用非球面的最关键技术之一，也是 高精度加工非球面的基础。随着光学加工和检测技术的不断发展，光学系统中采 用非球面愈来愈普遍。无论是天文研究，还是在军事及航天领域中，越来越多地 需要用到非球面元件，而且非球面元件的口径也越来越大。然而口径大于 O300 mm大口径非球面光学镜片检测是目前面临的一个关键性技术难题。非球面的高精度定量检测方法主要有无像差点法、补偿器法和计算全息法、 子孔径拼接方法。由于计算全息元件尺寸的限制，对于大口径非球面的检测主要 采用无像差点法、补偿器法和子孔径拼接方法。无像差法仅适用于检验反射本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径凸非球面两轴拼接测量装置，包括隔振基座（１）、光学波面干涉仪（５），其特征在于：在隔振基座（１）上安装有立式超精密气浮回转台（６）和卧式超精密回转轴（２），卧式超精密回转轴（２）上固定有Ｚ型悬臂梁（３），Ｚ型悬臂梁（３）末端固定有直线导轨（４），直线导轨（４）上配置有光学波面干涉仪（５）；立式超精密气浮回转台（６）的回转轴线与卧式超精密回转轴（２）的回转轴线互为正交，且立式超精密气浮回转台（６）的回转轴线、卧式超精密回转轴（２）的回转轴线、光学波面干涉仪（５）的光轴相交于一点。

【技术特征摘要】
1、一种大口径凸非球面两轴拼接测量装置，包括隔振基座(1)、光学波面干涉仪(5)，其特征在于在隔振基座(1)上安装有立式超精密气浮回转台(6)和卧式超精密回转轴(2)，卧式超精密回转轴(2)上固定有Z型悬臂梁(3)，Z型悬臂梁(3)末端固定有直线导轨(4)，直线导轨(4)上配置有光学波面干涉仪(5)；立式超精密气浮回转台(6)的回转轴线与卧式超精密回转轴(2)的回转轴线互为正交，且立式超精密气浮回转台(6)的回转轴线、卧式超精密回转轴(2)的回转轴线、光学波面干涉仪(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，王伟波，刘俭，
申请(专利权)人：谭久彬，王伟波，刘俭，
类型：发明
国别省市：93