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大口径凸非球面两轴拼接测量装置制造方法及图纸
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文档序号:6591340
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大口径凸非球面两轴拼接测量装置属于光学检测领域;包括:隔振基座、光 学波面干涉仪;还包括:安装在隔振基座上的立式超精密气浮回转台和卧式超精 密回转轴;卧式超精密回转轴上固定有Z型悬臂梁,其末端固定有直线导轨, 直线导轨上配置光学波面干涉仪;...
该专利属于谭久彬;王伟波;刘俭所有,仅供学习研究参考,未经过谭久彬;王伟波;刘俭授权不得商用。
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