【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空镀膜设备，尤其涉及一种加热稳定的镀膜设备。技术背景随着光学产品的发展，光学元件的应用范围越来越广。相应地，业界采用各种方法来制 造光学元件以适应市场对不同规格光学元件的需求(请参阅Fabrication of Diffractive Optical Lens for Beam splitting Using LIGA Process ， Mechatronics and Automation, Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on, 卯.1242-1247， 2006.06)。通常来说，制造出的光学元件需经过后续处理以获得适于应用 的良好性能。镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀 上单层或多层薄膜，利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直 、滤光、反射及折射等效果。现在普遍采用真空溅射镀膜的方式在工件上产生薄膜，溅射镀膜过程中，惰性气体(通 常为氩气)在高压下辉光放电，产生氩离子，氩离子轰击靶材表...
【技术保护点】
一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于：进一步包括一个设置在所述开口处的挡板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于进一步包括一个设置在所述开口处的挡板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。2.如权利要求l所述的镀膜设备，其特征在于所述挡板的材料为 铝酸盐玻璃。3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于所述铝酸盐玻璃包 括钙铝酸盐玻璃、锶铝酸盐玻璃、钡铝酸盐玻璃、镁铝酸盐玻璃或铍铝酸盐玻璃。4.如权利要求l所述的镀膜设备，其特征在于所述挡板的...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪新钦，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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