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本发明涉及真空溅射镀膜设备，一种用于对工件进行镀膜的镀膜设备，其包括具有开口的第一腔体、设置在所述开口处的挡板和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，所述挡板将所述红外线加热单元...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。