一种离子注入机台离子源的校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种离子注入机台离子源的校准装置，包括底座、位于该底座上并与底座一体成型的基板，该基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在该第一凹槽的反面安装第一齿轮、该第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、该第三凹槽的反面安装第三齿轮；第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮安装在滚动带内，并且该第二齿轮位于第一齿轮与第三齿轮之间，该第四齿轮与第二齿轮衔接匹配。使用离子注入机台离子源的校准装置安装离子注入机台离子源的灯丝和阴极的时候，使用摇杆对三根夹钳进行撑托，可以调节摇杆对灯丝还是阴极进行撑托，使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种校准装置，特别涉及离子注入机台离子源的校准装置。
技术介绍
离子注入机台中，离子源的作用十分重要。通过离子源内部的灯丝和阴极产生离 子打到晶圆上，在性能维护周期内对离子源进行组装时，考虑到离子源内部的一些组件耗 损的原因需要更换，如灯丝、阴极、绝缘体等。而离子源组装的好坏影响离子注入机台的性 能维护是否成功，其中包括灯丝与阴极的位置，位置过近会导致很难产生电磁弧，位置过 远会导致灯丝与阴极的使用寿命缩短，以至缩短性能维护的时间；支撑灯丝与阴极的夹钳 与绝缘材料的固定位置，虽然夹钳与绝缘材料是紧密结合的，但是有的组件在使用过程中 会产生误差，导致夹钳的位置出现偏差与其他组件连接，使灯丝与阴极短路。在组装过程 中，为避免问题发生，需检验多次还很难保证准确率的提高。现有的组装方法中使用手动安装夹板与绝缘材料，人眼确认位置是否正确，三根 夹板是否平行，在很大程度上降低了组装的准确度。在安装灯丝与阴极的过程中，手动使用 工具撑开夹钳，把灯丝与阴极安装到夹钳上。因为为确保夹钳可以夹紧灯丝与阴极，夹钳的 紧密度很高，撑开夹钳需要很大的作用力，在这过程中会导致夹钳与绝缘材料的位置发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子注入机台离子源的校准装置，包括底座、位于所述底座上并与底座一体成型的基板，其特征在于，所述基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在所述第一凹槽的反面安装第一齿轮、所述第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、所述第三凹槽的反面安装第三齿轮；所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿轮安装在滚动带内，并且所述第二齿轮位于所述第一齿轮与所述第三齿轮之间，所述第四齿轮与所述第二齿轮衔接匹配。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许鹖，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]