化学品供应系统管路技术方案

本实用新型专利技术公开了一种化学品供应系统管路，所述化学品供应系统管路包括主管路、供液管路以及回流管路，所述主管路分别与所述供液管路及回流管路相连，所述供液管路通过第二气动阀门与第一原液桶及第二原液桶相连，所述回流管路通过第三气动阀门与所述第一原液桶及第二原液桶相连，所述第二气动阀门与所述第三气动阀门由同一电气信号控制，保证所述第二气动阀门与所述第三气动阀门同时接通所述第一原液桶或者所述第二原液桶，从而防止所述第一原液桶和所述第二原液桶因相互汲取而造成化学品外溢，避免了化学品浪费，提高了化学品供应系统的安全。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造装置
，尤其涉及一种化学品供应系统管路。
技术介绍
在半导体集成电路的制造过程中，需使用大量的化学药品。通常来说，这些化学药 品经配制后都储存在原液桶中，需使用化学药品时，再通过管道从所述原液桶中抽取化学 药品以供使用。同时，为了方便工作人员更换化学药品，一般都使用两个原液桶，即双原液 桶系统。并且，有些化学药品为悬浮液，例如化学机械抛光工艺(CMP)中大量使用的研磨 液。研磨液储存在原液桶中一段时间后，其上下层的密度存在很大差别，因此，使用之前需 对原液桶中的研磨液进行搅拌，使其混合均勻，并且不能对研磨液造成污染。为了达到上述目的，目前的化学品供应系统通过管路设计实现了搅拌功能。请参 考图1，图1为现有的化学品供应系统管路结构示意图，如图1所示，现有的化学品供应系 统管路100包括主管路、供液管路、第一回流管路以及第二回流管路，所述主管路分别与所 述供液管路、第一回流管路以及第二回流管路相连；其中，所述主管路包括依次相连的水泵 121、第一二通气动阀122以及使用桶120 ；所述供液管路包括第一三通气动阀112、第一原 液桶110以及第二原液桶111，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品供应系统管路，其特征在于，包括：主　　管路，所述主管路包括依次相连的水泵、第一气动阀门以及使用桶；　　供液管路，所述供液管路包括第二气动阀门、第一原液桶以及第二原液桶，所述第二气动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第二气动阀门的第一端口、第二端口及第三端口分别与所述水泵、所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连；以及　　回流管路，所述回流管路包括第三气动阀门，所述第三气动阀门包括第一端口、第二端口及第三端口，所述第三气动阀门的第一端口接在所述水泵与所述使用桶之间，所述第三气动阀门的第二端口及第三端口分别与所述第一原液桶以及所述第二原液桶相连，且所述第一气动阀门位于所述第三气动阀门...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王怀锋，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]