【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种监测装置，尤其涉及一种电源监测装置。
技术介绍
众所周知，在半导体制造过程中，投入成本是相当高的，设备动辄上千万，为降低 成本提高效率，半导体制作设备往往都是连续工作不停的，一旦因为故障停止流水线，重新 启动需要耗费相当长的时间和成本的，并且制造过程中用到多种化学气体和液体，一旦因 失误导致泄漏，影响是非常恶劣的，因此半导体工业非常重视报警系统，往往将设备与生产 安全上的监测报警是放在第一位。常用的报警装置是各种传感器，如漏水传感器等，这些报 警装置在现场工作的时候都需要用直流电源支持数据采集，如果电源突然失电，会影响报 警系统的正常侦察，在实际生产中，就遇到过因电源突然断电使报警装置失去报警功能，致 使设备发生故障却没有及时监测到，造成经济损失。因此，各系统上的报警装置上所用的电 源也都需要监测装置进行及时监测报警，现场的电源“有”与“没有”都必须在监控中心进 行监控，用可靠的电源给予供给，使报警装置能正常的发挥作用，提高各报警系统的稳定度 与可靠度。而现有技术中并未有此类产品或装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种电源监测装置，通过将...
【技术保护点】
一种电源监测装置，与报警装置的电源电性相连，并与监测接收装置信号相连，其特征在于，包括电源接口、继电器和报警端口，其中 所述电源接口与所述电源相连； 所述报警端口与所述继电器信号相连，所述报警端口还与监测接收装置信号相连； 所述继电器包括线圈和至少一组触点，所述线圈两端与所述电源接口电性相连，其中一组所述触点与所述报警端口信号相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：肖叶斌，张利强，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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