透射电镜微栅的制备方法技术

技术编号:6321103 阅读:195 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种透射电镜微栅的制备方法,包括以下步骤:提供一片状碳纳米管结构;对所述片状碳纳米管结构进行激光打孔以形成多个电子透射部;以及按预定尺寸切割所述具有电子透射部的片状碳纳米管结构,形成所述透射电镜微栅。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种,尤其涉及一种基于碳纳米管的透射电 镜微栅的制备方法。
技术介绍
在透射电子显微镜中,多孔碳支持膜(微栅)是用于承载粉末样品,进行透射电子 显微镜高分辨像(HRTEM)观察的重要工具。随着纳米材料研究的不断发展,微栅在纳米材 料的电子显微学表征领域的应用日益广泛。现有技术中,该应用于透射电子显微镜的微栅 通常是在铜网或镍网等金属网格上覆盖一层多孔有机膜,再蒸镀一层非晶碳膜制成的。然 而,当采用上述微栅对被测样品的透射电镜高分辨像进行成份分析时,金属网格因其经常 含有较多杂质,如金属氧化物等,对被测样品成份分析的干扰较大。自九十年代初以来,以碳纳米管(请参见Helical microtubules of graphiticcarbon, Nature, Sumio Iijima, vol 354, p56(1991))为代表的纳米材料以其独 特的结构和性质引起了人们极大的关注。将碳纳米管应用于微栅的制作,有利于降低金属 网格对被测样品成份分析的干扰。
技术实现思路
因此,确有必要提供一种基于碳纳米管的,所制备的透 射电镜微栅对被测样品成份分析的干扰较小。一种,该方法包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透射电镜微栅的制备方法,包括以下步骤:提供一片状碳纳米管结构;对所述片状碳纳米管结构进行激光打孔以形成多个电子透射部;以及按预定尺寸切割所述具有电子透射部的片状碳纳米管结构,形成所述透射电镜微栅。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潜力范立刘亮冯辰王昱权
申请(专利权)人:北京富纳特创新科技有限公司
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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