点测机两用转换结构以及两用点测机制造技术

本实用新型专利技术提供了点测机两用转换结构以及两用点测机，涉及半导体测试用的点测机，其用于解决点测机对于垂直结构半导体芯片与水平结构半导体芯片不能通用的问题。该技术方案为：包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，其中第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体测试用的点测机，特别是涉及LED芯片的测试。
技术介绍
LED晶粒需要通过点测机对其进行测试，以获取其光电参数，根据光电参数对LED 晶粒进行分选。目前用于对硅衬底LED芯片进行测试的点测机包括探针部分、晶粒检测电源装置 以及工作台，参看图1所示，前置盒内包括晶粒检测电源装置，前置盒于静电发生器(即静 电箱)连接，前置盒的两个端口N端口和P端口分别连接探针装置和工作台。由于硅衬底 LED晶粒是垂直结构，以及工作台本身导电特点，将晶粒放在工作台上，探针在点测晶粒的 时候即可构成点测回路获取点测数据。由于目前市面上的蓝宝石衬底的LED晶粒都是水平结构的，其用到的点测机与硅 衬底的LED晶粒不相同，其需要两个探针分别测位于芯片表面上的两个电极，而工作台不 导电。用于制造硅衬底LED的点测机与用于制造蓝宝石衬底LED的点测机不能通用，如 果更换衬底类型，则需要对点测机进行改造，非常不便。
技术实现思路
本技术所要解决的第一个技术问题是提供一种点测机两用转换结构，该结 构可以快速实现垂直结构的LED与水平结构的LED点测状态的互换，解决点测机对于垂直 结构半导体芯片与水平结构半导体芯片不能通用的问题。本技术所要解决的第二个技术问题是提供一种两用点测机，其可以快速实 现垂直结构的LED与水平结构的LED点测状态的互换，解决点测机对于垂直结构半导体芯 片与水平结构半导体芯片不能通用的问题。为了解决本技术的第一个技术问题，本技术提出一种点测机两用转换结 构，包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；其中，晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个 引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置，该开关装置包括两个选 择输出，两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒 的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极 探针装置。选择开关包括两个选择输出，可以供在两个选择输出之间进行选择接通。为了解决上述第二个技术问题，本技术提出一种两用点测机，包括晶粒检测 电源装置，晶粒第一电极探针装置以及工作台；其中，晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个3引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置，该开关装置包括两个选 择输出，两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒 的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极 探针装置。优选地所述选择开关装置为机械开关。优选地所述机械开关是单刀双掷开关。优选地所述选择开关装置为电子开关。优选地所述第一引出端连接多个晶粒第一电极探针装置，该多个晶粒第一电极 探针装置并联连接。本技术的有益效果相比现有技术，本技术提出的点测机两用转换方案，可以很便捷的实现水平 结构LED芯片的检测与垂直结构LED芯片的检测之间的切换，无需因为结构的不同而对设 备进行改造，从而实现上述两种不同结构的晶粒的快速切换，解决了点测机对于垂直结构 半导体芯片与水平结构半导体芯片不能通用的问题。附图说明图1是现有技术的结构框图。图2是本技术的结构框图。图3是垂直结构LED的点测状态图。图4是水平结构LED的点测状态图。具体实施方式本技术提出一种点测机两用转换结构以及具有该结构的点测机。该点测机包 括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台。其中，晶粒检测电源装置包括分 别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一 电极探针装置。以及还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置。两个引出端的第二个 引出端连接选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接工作台 和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台。对于水平 电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。本技术的实施例的结构框图参见图2所示。晶粒检测电源装置的第一个引出端为用来接触LED晶粒的第一电极，其第二引出 端为用来接触LED晶粒的第二电极。该第一引出端连接晶粒第一电极探针装置1，该第二引 出端连接选择开关装置3，选择开关装置3包括两个输出，该两个输出端分别与晶粒第二电 极探针装置2和工作台连接。晶粒检测电源装置负责给检测回路供电，其设在点测机的前 置盒内，与静电箱连接，静电箱为静电发生装置。选择开关装置3优选为机械开关，例如可以是单刀双掷开关。该选择开关装置也 可以为电子开关，电子开关可以是常用的晶体开关管电路模块，其与控制器连接，由控制器控制。对于大功率LED晶粒，由于其晶粒的面积较大，往往需要两个以及两个以上的晶 粒第一电极探针装置。多个探针在晶粒表面多个部位进行接触，以期获得更为准确的参数 信息。该多个晶粒第一电极探针装置相互并联连接。本技术的使用如下以选择开关装置3是手动的单刀双掷开关为例。参看图2和图3，在需要点测具有垂直结构的硅衬底LED的时候，键30打到B点， 工作台5与第二个引出端接通，将外延片邦定后做了电极的硅片(硅片包括晶粒以及将所 有的晶粒连在一起的硅衬底部分)放在工作台5上，此时还没有硅片还没有经过裂片，晶粒 4的下部的硅衬底40连在一起，由于硅是导体，当晶粒第一电极探针装置1接触到晶粒4的 N电极的时候，晶粒4与工作台5导通，测试即可顺利进行。参看图4，蓝宝石衬底LED晶粒6置于蓝膜7 (蓝膜7可选)上，在需要点测具有水 平结构的蓝宝石衬底LED的晶粒6的时候，键30打到A点，晶粒第二电极探针装置2与第 二个引出端接通，此时工作台断路。由于蓝宝石衬底LED的两个电极均在晶粒的上表面上， 因此，晶粒第一电极探针装置1接触晶粒的第一电极，晶粒第二电极探针装置2接触晶粒的 第二电极，这样即可构成测试电路的回路。与前面硅衬底LED实施例不同的是，做了电极的 外延片经过裂片，做成依附在蓝膜7上的独立晶粒。权利要求一种点测机两用转换结构，包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；其中，晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；其特征在于还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。2.根据权利要求1所述的点测机两用转换结构，其特征在于所述选择开关装置为机 械开关。3.根据权利要求2所述的点测机两用转换结构，其特征在于所述机械开关是单刀双 掷开关。4.根据权利要求1所述的点测机两用转换结构，其特征在于所述选择开关装置为电 子开关。5.根据权利要求1所述的点测机两用转换结构，其特征在于所述第一引出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种点测机两用转换结构，包括晶粒检测电源装置、晶粒第一电极探针装置以及工作台；其中，晶粒检测电源装置包括分别用于检测晶粒的两个电极的两个引出端，两个引出端中的第一个引出端连接到晶粒第一电极探针装置；其特征在于：还包括晶粒第二电极探针装置和选择开关装置；所述两个引出端的第二个引出端连接所述选择开关装置，该开关装置包括两个选择输出，两个选择输出分别连接所述工作台和晶粒第二电极探针装置，对于垂直电极晶粒的点测，选择开关装置接通工作台；对于水平电极晶粒的点测，选择开关接通晶粒第二电极探针装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁九龙，
申请(专利权)人：晶能光电江西有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36[中国|江西]