【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种热处理装置，所述热处理装置通过在搬入和排出例如液晶面板用 玻璃基板等工件时打开或关闭的门，对炉体的炉口进行气密式封闭。
技术介绍
在热处理装置中，为了把炉体内部的温度分布保持在所希望的状态，提高炉体的 密封性是很重要的。以往为了提高炉体的密封性，存在一种热处理装置，该热处理装置在构 成炉体的开口部的炉口的周围和炉盖上分别设置密封构件。可是，由于炉口周围处于高温状态，所以密封构件因硬化导致产生磨损，容易产生 粉尘，其结果往往会产生炉内的洁净程度降低的问题。因此，在以往的热处理装置中，采用的技术是通过提高密封构件的耐热性来防止 从密封构件产生粉尘(例如参照日本专利第3614748号(专利文献1))。如图1所示，在该 技术中，在炉体12的炉口周围设置金属制的密封构件130，通过使设置在门200上的密封部 140与该密封构件130压力接触，来保持炉体12和门200之间的气密性。具体地说，在图1 中采用的结构是使耐热树脂片144与金属的密封构件130压力接触，所述耐热树脂片144 覆盖具有耐热性和弹性的支撑(backup)构件142。可是，在上述的日本专...
【技术保护点】
一种热处理装置，包括：炉体，容纳进行热处理的工件，具有用于搬入和搬出所述工件的炉口，并且设置有第一密封部，所述第一密封部包围所述炉口；以及门，具有第二密封部，所述第二密封部配置在与所述第一密封部对应的位置，通过所述第一密封部和所述第二密封部，所述门能够以气密的方式封闭所述炉口，所述热处理装置的特征在于，所述第一密封部包括：第一树脂构件，具有绝热性和弹性；以及树脂片，具有耐热性，覆盖所述第一树脂构件，所述第二密封部包括第二树脂构件，所述第二树脂构件具有耐热性，为板形。
【技术特征摘要】
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