The utility model provides a trichlorosilane synthesis waste gasification device, which comprises a housing (2) and shell (2) coated on the outer jacket (1), the housing (2) is provided with a liquid inlet (3), the top of the shell is provided with a waste liquid vaporization outlet (7), outer jacket (1) the shell part coated in liquid inlet (3) below the outer jacket (1) is a hollow sleeve, the outer jacket (1) is arranged on the upper part of the steam inlet (9), the bottom is provided with a condensate outlet (10). The device can improve the processing ability of trichlorosilane synthesis exhaust gas treatment system, effectively avoid the traditional trichlorosilane synthesis drainage is prone to blockage of the pipeline are difficult to clean up.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三氯氢硅合成废液汽化装置，特别适用于加压三氯氢硅合成 尾气废液的汽化处理，以防止尾气中的金属氯化物沉积于管道内产生堵塞。
技术介绍
目前、国内三氯氢硅的合成主要采用湿法除尘法进行制取，通过将三氯氢硅合成 产生的氯硅烷冷凝后的液体对氯硅烷中的金属氯化物及杂质进行淋洗，对淋洗后塔底的废 液进行排放后进入残液系统，废液经氢氧化钠溶液进行淋洗处理。但由于洗涤塔底部废液 中含有大量的金属氯化物，比如，氯化铝、氯化铁、氯化钙等金属杂质，此类杂质冷凝后容易 变成固体，沉积于管道内(据文献记载，金属氯化物的冷凝温度为80-90°C)。因而，通过管 道输送残液时，金属氯化物很快凝固沉积在管道中，使管道产生堵塞，并且拆卸管道时此类 物质容易出现着火闪爆，这些严重制约了三氯氢硅合成工艺连续稳定的运行。现有针对三氯氢硅废液汽化的装置还没有报道，本装置增加了就地与远传压力表 (5，6)，同时增加了安全阀接口 (4)增加了设备的安全性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种可 提高三氯氢硅合成尾气处理系统的处理能力，减少管道堵塞的三氯氢硅合成...
【技术保护点】
一种三氯氢硅合成废液汽化装置，其特征在于，包括壳体（２）和包覆在壳体（２）外的外夹套（１），所述壳体（２）上设有废液进口（３），壳体顶部设有废液汽化出口（７），外夹套（１）所包覆的壳体部分处于废液进口（３）的下方，外夹套（１）为中空夹套，外夹套（１）上部设有蒸汽进口（９），其底部设有冷凝液出口（１０）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨龙，宋高杰，刘兴平，王丽春，陈国辉，
申请(专利权)人：特变电工新疆硅业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：65
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