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本实用新型提供一种三氯氢硅合成废液汽化装置，其包括壳体(2)和包覆在壳体(2)外的外夹套(1)，所述壳体(2)上设有废液进口(3)，壳体顶部设有废液汽化出口(7)，外夹套(1)所包覆的壳体部分处于废液进口(3)的下方，外夹套(1)为中空夹套...
该专利属于特变电工新疆硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特变电工新疆硅业有限公司授权不得商用。

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