【技术实现步骤摘要】
本使用新型提供一种晶体生长炉，尤其是一种带定值气压释放安 全阀的'晶体生长炉。
技术介绍
现有的晶体生长设备，在工作时炉体内的环境相对于外界环境呈 现为负压、高温状态。如果因意外情况导致冷却水泄漏到炉体内，在 高温下'冷却水会瞬间汽化转为气体，导致炉体内的气压急剧增大到超 过炉体外大气压，轻则可能导致晶体生长设备的损坏或其他危害晶体 生长设备稳定的情况，重则可能引起爆炸，危及人身安全。目前国内 制造的晶体生长设备，均未设计过压保护，设备的安全性存在很大隐 患，给晶体生长设备的使用安全性和使用寿命带来不利的影响。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本使用新型的带定值气压释放 安全阀的晶体生长炉，包括炉体，炉体为双层密封结构，夹层内有循 环冷却水，在晶体生长炉炉体的外部侧面设置有一个定值气压释放安 全阀，定值气压释放安全阀安装在设置于炉体外部的管道的接口处， 管道与炉体的内腔相通。作为对本技术的改进，本使用新型的带定值气压释放安全阀 的晶体生长炉，定值气压释放安全阀包括带导向柱的盖板、定值弹簧、 压板以及拉杆，拉杆一端固装在管道的接口处的外缘上，另一端与压 板固...
【技术保护点】
一种带定值气压释放安全阀的晶体生长炉，包括炉体（９），炉体为双层密封结构，夹层内有循环冷却水，其特征在于：在晶体生长炉炉体的外部侧面设置有一个定值气压释放安全阀（１），定值气压释放安全阀（１）安装在设置于炉体外部的管道（２）的接口处，管道（２）与炉体的内腔（１０）相通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：边志坚，杜彦玲，楚树恒，杨运忠，
申请(专利权)人：河北晶龙阳光设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]
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