用于优化非晶硅的结晶的系统和方法技术方案

在被配置为使玻璃基底上的硅层退火的薄光束定向结晶系统中，使用特殊的激光光束分布，所述激光光束分布在一个边缘具有强度峰值。该系统完全熔融硅膜的一空间受控的部分，导致横向晶体生长。通过推进基底或者激光器某个步长并且使硅层经受来自激光器的连续逐次“照射”，使整个硅层结晶。横向晶体生长在熔融区域的中心造成凸起，该凸起必须被重新熔融。因此，所述步长必须允许在连续逐次照射之间即熔融区之间具有足够的重叠，以确保凸起被熔融。这要求步长小于光束宽度的一半。较小的步长减小吞吐率而增加成本。根据本文描述的系统和方法所使用的特殊的激光分布可以增加步长，并且由此增加吞吐率且降低成本。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】背景1. 专利
本专利技术的领域总地涉及液晶显示器(LCD)，并且更具体地涉及制造LCD的 系统和方法。2.
技术介绍
已经存在良好建立并正在增长的有源矩阵式LCD市场，在所述有源矩阵式 LCD中，有源薄膜晶体管(TFT)被用来控制显示器中的每个像素。例如，有源矩阵式 LCD是用于计算机屏幕的主流技术。此外，近年来，有源矩阵式LCD解决方案还大举进 入诸如电视、移动电话、PDA、录像机等市场部分。有源矩阵式LCD被预测为显示器行业增长最快的部分，下一个五年预计的年 平均增长率超过35%。相反，预测无源式LCD和常规阴极射线管(CRT)具有平缓直至 负的增长率。仅有的被预测为具有正增长的其他显示技术为有机发光二极管(OLED)显 示器，其正针对于专用应用而兴起，并且预测在2007年之后(beyond)每年高于增加一 倍。除了快速的总体增长之外，LCD市场的性质正在改变，即更新的LCD应用包 括更大的多样性和更特殊的要求。例如，电话占约所有LCD的50。/。，但仅占LCD总面积 的2%。相反，监视器占LCD的约27。/。，但占总面积的50%。随着TV应用和大屏幕尺寸 的快速增长，计划到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理衬底的设备，包括：　被配置为周期性地产生激光的激光器；　光束整形光学系统，所述光学系统被耦合到所述激光器并且被配置为将从所述激光器发出的激光转换为具有短轴和长轴的长而薄的光束；以及　被配置为支撑所述衬底的工作台；以及　耦合到所述工作台的平移器，所述平移器被配置为推进所述衬底，从而产生与所述激光器的周期性发射相协同的步长，所述平移器和所述激光器还被配置为导致故意的步进过照射。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：BA特克，B伯范德特，DS诺尔斯，
申请(专利权)人：TCZ私营有限公司，
类型：发明
国别省市：SG[新加坡]