下载用于优化非晶硅的结晶的系统和方法的技术资料

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在被配置为使玻璃基底上的硅层退火的薄光束定向结晶系统中,使用特殊的激光光束分布,所述激光光束分布在一个边缘具有强度峰值。该系统完全熔融硅膜的一空间受控的部分,导致横向晶体生长。通过推进基底或者激光器某个步长并且使硅层经受来自激光器的连续逐次...
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