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用于优化非晶硅的结晶的系统和方法技术方案
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下载用于优化非晶硅的结晶的系统和方法的技术资料
文档序号:5421100
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在被配置为使玻璃基底上的硅层退火的薄光束定向结晶系统中,使用特殊的激光光束分布,所述激光光束分布在一个边缘具有强度峰值。该系统完全熔融硅膜的一空间受控的部分,导致横向晶体生长。通过推进基底或者激光器某个步长并且使硅层经受来自激光器的连续逐次...
该专利属于TCZ私营有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCZ私营有限公司授权不得商用。
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