单晶炉用加料装置制造方法及图纸

技术编号:33247406 阅读:66 留言:0更新日期:2022-04-27 18:02
本发明专利技术提供一种单晶炉用加料装置,包括底座和安装在底座上的加料器主体,加料器主体包括进给机构,包括与所述底座滑动连接的上板;以及振动器送料机构,包括:第二驱动组件、滑动连接在所述上板上的送料组件、与所述第二驱动组件连接的同步带轮、拉力传感器和与所述拉力传感器电连接的报警器,其中,所述同步带轮上安装有同步带,所述同步带通过所述拉力传感器与所述送料组件连接,若所述同步带与所述送料组件未同步运动,所述报警器发出报警信号。本发明专利技术实施例的装置能够有效减小整机占地空间,且能够避免碰撞带来的严重后果。且能够避免碰撞带来的严重后果。且能够避免碰撞带来的严重后果。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用加料装置


[0001]本专利技术涉及一种单晶炉用加料装置。

技术介绍

[0002]单晶炉在拉晶时,需要向单晶炉内添加硅料,当前炉筒侧方加料装置由于向单晶炉内加料时,由于结构原因导致加料时间长,炉内的高温对料管会有损伤,此外,现有的加料装置在加料时,加料装置不可避免地会碰撞单晶炉内的部件,容易对加料装置和单晶炉造成损伤,甚至造成焖炉等严重的后果。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,本专利技术提供一种单晶炉用加料装置,用以解决拉晶加料时,因料筒碰撞单晶炉内的部件,容易对加料装置和单晶炉造成损伤的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:
[0005]根据本专利技术实施例的单晶炉用加料装置,包括底座和安装在所述底座上的加料器主体,所述加料器主体包括:
[0006]进给机构,包括与所述底座滑动连接的上板;以及
[0007]振动器送料机构,包括:第二驱动组件、滑动连接在所述上板背离所述底座的表面的送料组件、与所述第二驱动组件连接的同步带轮、拉力传感器,其中,所述同步带轮上安装有同步带,所述同步带通过所述拉力传感器与所述送料组件连接;以及
[0008]报警器,与所述拉力传感器电连接,所述报警器响应于所述拉力传感器采集的拉力信号发出报警信号。
[0009]根据本专利技术的一个实施例,所述进给机构还包括:固定在所述底座上的第一驱动组件,所述第一驱动组件与所述上板连接并驱动所述上板滑动。
[0010]根据本专利技术的一个实施例,所述装置还包括控制柜,所述控制柜上设有触摸屏,所述控制柜与所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述拉力传感器以及所述报警器电连接,所述控制柜被配置为:接收所述拉力传感器采集的拉力信号,根据所述拉力信号控制所述报警器发出所述报警信号。
[0011]根据本专利技术的一个实施例,所述上板上间隔设置有两个限位件,所述送料组件上设有限位杆,所述限位杆位于两个所述限位件之间。
[0012]根据本专利技术的一个实施例,所述底座包括:
[0013]底板,所述底板上设有用于调节所述底板高度的高度调节螺丝,以及用于对所述底板进行定位的定位销,所述高度调节螺丝和所述定位销设置在所述底板上背离所述加料器主体的一侧。
[0014]根据本专利技术的一个实施例,所述加料器主体还包括:仓体,所述仓体组装于所述底座上,所述仓体包括仓壁和上盖,所述仓壁内部形成腔室,且上端开口,所述仓壁的外壁上组装有气动控制器,所述气动控制器与所述上盖连接并控制所述上盖打开或关闭所述开
口。
[0015]根据本专利技术的一个实施例,所述仓壁上设有与所述腔室连通的进气管,所述进气管上安装有浮子流量计;和/或所述装置还包括真空计,所述真空计的探头设于所述仓体的腔室内。
[0016]根据本专利技术的一个实施例,所述装置还包括组装于所述仓体外的隔离阀,所述隔离阀上设有与所述送料组件相对设置的加料口以及与所述加料口连通的氩气控制接口、抽空控制接口、波纹管连接口、冷却管和收集槽。
[0017]根据本专利技术的一个实施例,所述腔室分为加料区和送料区,所述送料区位于所述底座和所述加料区之间,所述振动器送料机构位于所述送料区,所述装置还包括设置在所述加料区的料筒,所述料筒包括:
[0018]料筒本体,内部形成有用于容纳物料的腔室,所述料筒本体的底部设有出料口;
[0019]双插板机构,包括:与所述出料口连通的安装板、组装于所述安装板上的第一插板、组装于所述安装板上且驱动所述第一插板关闭或打开所述出料口的第三驱动组件、组装于所述安装板上的第二插板、组装于所述安装板上且驱动所述第二插板关闭或打开所述出料口的第四驱动组件,所述第一插板位于所述第二插板的上方。
[0020]根据本专利技术的一个实施例,所述安装板上设有安装孔,所述双插板机构还包括输送管,所述输送管的一端与所述安装孔连通,另一端与所述出料口连通,所述输送管上间隔设有内外贯通的第一长形孔和第二长形孔,所述第一长形孔和所述第二长形孔沿所述输送管的周向延伸,所述第三驱动组件驱动所述第一插板可插入所述第一长形孔或由所述第一长形孔伸出,所述第四驱动组件驱动所述第二插板可插入所述第二长形孔或由所述第二长形孔伸出。
[0021]根据本专利技术的一个实施例,所述安装板设有第一轴孔,所述第三驱动组件包括:
[0022]第一插板气缸,固定在所述安装板上;
[0023]第一轴承,固定在所述安装板的所述第一轴孔内;
[0024]第一旋转轴,穿过所述第一轴承,且所述第一旋转轴的一端与所述第一插板气缸的驱动端连接;
[0025]第一旋转臂,一端与所述第一旋转轴的另一端可旋转连接,另一端与所述第一插板固定连接。
[0026]根据本专利技术的一个实施例,所述安装板上设有第二轴孔,所述第四驱动组件包括:
[0027]第二插板气缸,固定在所述安装板上;
[0028]第二轴承,固定在所述安装板的第二轴孔内;
[0029]第二旋转轴,穿过所述第二轴承,且所述第二旋转轴的一端与所述第二插板气缸的驱动端连接;
[0030]第二旋转臂,所述第二旋转臂的一端与所述第二旋转轴的另一端可旋转连接,所述第二旋转臂的另一端与所述第二插板固定连接。
[0031]根据本专利技术的一个实施例,还包括用于疏通物料的疏通组件,所述疏通组件包括:
[0032]第五驱动组件,固定在所述料筒本体的外侧壁;
[0033]疏通杆,一端与所述第五驱动组件的驱动端连接,另一端在所述第五驱动组件的驱动下伸入所述料筒本体内或伸出所述料筒本体。
[0034]根据本专利技术的一个实施例,所述疏通组件还包括:
[0035]安装座,固定在所述料筒本体的外侧壁,所述第五驱动组件通过所述安装座固定在所述料筒本体的外侧壁;
[0036]导向套,一端与所述安装座固定连接,所述疏通杆可轴向移动地位于所述导向套内。
[0037]根据本专利技术的一个实施例,还包括用于辅助物料疏通的敲击组件,所述敲击组件包括:
[0038]第六驱动组件,固定在所述料筒本体的外侧壁;
[0039]敲击杆,一端所述第六驱动组件连接,另一端用于敲击所述料筒本体的侧壁。
[0040]根据本专利技术的一个实施例,所述料筒本体的底部形成漏斗状,和/或,所述料筒本体的顶端设有吊装法兰。
[0041]根据本专利技术的一个实施例,所述料筒本体的内侧壁设有石英内衬层,所述料筒本体的内侧壁和所述石英内衬层之间设有缓冲层。
[0042]根据本专利技术的一个实施例,还包括用于对所述料筒本体内的物料进行称重的第一称重器,所述第一称重器设置在所述料筒本体上。
[0043]根据本专利技术的一个实施例,所述底座通过第一直线滑轨与所述上板滑动连接,所述送料组件包括:
[0044]振动器,所述振动器通过第二直线滑轨与所述上板滑动连接,所述第二直线滑轨与所述第一直线滑轨平行设置;
[0045]料管,第一端组装在所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用加料装置,其特征在于,包括底座和组装在所述底座上的加料器主体,所述加料器主体包括:进给机构,包括与所述底座滑动连接的上板;以及振动器送料机构,包括:第二驱动组件、滑动连接在所述上板背离所述底座的表面的送料组件、与所述第二驱动组件连接的同步带轮和拉力传感器,其中,所述同步带轮上安装有同步带,所述同步带通过所述拉力传感器与所述送料组件连接;以及报警器,与所述拉力传感器电连接,所述报警器响应于所述拉力传感器采集的拉力信号发出报警信号。2.根据权利要求1所述的单晶炉用加料装置,其特征在于,所述进给机构还包括:固定在所述底座上的第一驱动组件,所述第一驱动组件与所述上板连接并驱动所述上板滑动;优选地,所述装置还包括控制柜,所述控制柜上设有触摸屏,所述控制柜与所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述拉力传感器以及所述报警器电连接,所述控制柜被配置为:接收所述拉力传感器采集的拉力信号,根据所述拉力信号控制所述报警器发出所述报警信号。3.根据权利要求1所述的单晶炉用加料装置,其特征在于,所述上板上间隔设置有两个限位件,所述送料组件上设有限位杆,所述限位杆位于两个所述限位件之间;和/或,所述底座包括:底板,所述底板上设有用于调节所述底板高度的高度调节螺丝,以及用于对所述底板进行定位的定位销,所述高度调节螺丝和所述定位销设置在所述底板上背离所述加料器主体的一侧。4.根据权利要求1所述的单晶炉用加料装置,其特征在于,所述加料器主体还包括:仓体,所述仓体组装于所述底座上,所述仓体包括仓壁和上盖,所述仓壁内部形成腔室,且上端开口,所述仓壁的外壁上组装有气动控制器,所述气动控制器与所述上盖连接并控制所述上盖打开或关闭所述开口;优选地,所述仓体上设有与所述腔室连通的进气管,所述进气管上安装有浮子流量计;和/或所述装置还包括真空计,所述真空计的探头设于所述仓体的腔室内;优选地,所述装置还包括组装于所述仓体外的隔离阀,所述隔离阀上设有与所述送料组件相对设置的加料口以及与所述加料口连通的氩气控制接口、抽空控制接口、波纹管连接口、冷却管和收集槽。5.根据权利要求4所述的单晶炉用加料装置,其特征在于,所述腔室分为加料区和送料区,所述送料区位于所述底座和所述加料区之间,所述振动器送料机构位于所述送料区,所述装置还包括设置在所述加料区的料筒,所述料筒包括:料筒本体,内部形成有用于容纳物料的腔室,所述料筒本体的底部设有出料口;双插板机构,包括:与所述出料口连通的安装板、组装于所述安装板上的第一插板、组装于所述安装板上且驱动所述第一插板关闭或打开所述出料口的第三驱动组件、组装于所述安装板上的第二插板、组装于所述安装板上且驱动所述第二插板关闭或打开所述出料口的第四驱动组件,所述第一插板位于所述第二插板的上方;优选地,所述安装板上设有安装孔,所述双插板机构还包括输送管,所述输送管的一端与所述安装孔连通,另一端与所述出料口连通,所述输送管上间隔设有内外贯通的第一长
形孔和第...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵京通李润飞贾世涛
申请(专利权)人:河北晶龙阳光设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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