滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法制造方法及图纸

一种滑动式石英加料装置，包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，在调节杆的上端旋入调节螺母，所述调节杆为数个，在每一个调节杆上套装数个高度调节环，根据单晶炉的大小规格不同，通过增加或减少高度调节环的数量来调节加料器的作业高度，有利于适用各种炉型，降低成本，还提供了一种直拉单晶炉，还提供了一种提高拉晶速率的方法。种提高拉晶速率的方法。种提高拉晶速率的方法。

【技术实现步骤摘要】
滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法


[0001]本专利技术涉及直拉单晶硅生产
，特别涉及一种滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法。

技术介绍

[0002]采用直拉法生长单晶的过程中，首先利用加料器向石英坩埚内加入硅料，加热硅料熔化成熔液，然后以一定的提拉速度形成单晶。
[0003]现有技术中的加料器单一互换性差，对于不同规格的单晶炉需要配置不同规格的加料器，不利于降低成本。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种滑动式石英加料装置。
[0005]还有必要提出一种直拉单晶炉。
[0006]还有必要提出一种提高拉晶速率的方法。
[0007]一种滑动式石英加料装置，包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，在调节杆的上端旋入调节螺母，所述调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滑动式石英加料装置，其特征在于：包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，在调节杆的上端旋入调节螺母，所述调节螺母的直径大于调节孔的直径，所述调节杆为数个，数个调节杆沿固定法兰的周向均布，在每一个调节杆上套装数个高度调节环，所述高度调节环位于固定法兰与连接法兰之间。2.一种直拉单晶炉，其特征在于：包括副炉体、提升机构以及权利要求1所述的滑动式石英加料装置，所述滑动式石英加料装置还包括加料吊杆、锥形底盖，所述提升机构设于副炉体的顶部，所述加料吊杆的上端与提升机构连接，所述加料吊杆的下端穿过加料筒，并与锥形底盖连接，所述锥形底盖盖合在加料筒的底端，所述固定法兰的外壁与副炉体的内壁连接。3.如权利要求2所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉还包括主炉体、导流筒、水冷屏，所述导流筒、水冷屏设于主炉体内，所述导流筒位于所述水冷屏的下方，所述水冷屏的内侧壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彦娟，丁亚国，梁万亮，马国忠，顾燕滨，
申请(专利权)人：宁夏申和新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：