气体调压器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种气体调压器，它包括调压阀杆和调压阀本体，调压 阀杆两端分别为操作端和控制端，调压阀杆操作端位于调压阀本体内。所述气 体调压器还包旋转角度标尺和位移标尺，旋转角度标尺围绕所述调压阀杆的控 制端，读取所述调压阀杆控制端旋转的角度；位移标尺用于读取调压阀杆控制 端相对于调压阀本体的位移。本实用新型专利技术的气体调压器通过增设旋转角度标尺 和位移标尺来测量螺旋式运动轨迹的调压阀杆控制端始末状态对应的角度和位 移，有效解决了气体调压器的调压阀杆难于准确定位的问题。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体调压器领域，尤其涉及调压阀杆呈螺旋轨迹运动的气 体调压器。
技术介绍
气体运输管路是工业制造领域常见的工业设备，用于将工业气体运输到各 个制作部门。目前，大多数工业制造领域对工艺气体的压力及流量均存在工艺 要求，因此就需要使用气体调压器实现气体管路内或气体管路到制作设备的工 艺气体压力的调节。在半导体工业，利用气体调压器调节气体管路内工艺气体 压力更为常见。随着半导体制造业的发展，其工艺制造的特征尺寸不断减小， 对制造工业中工艺气体压力的要求更为严格，压力过大或过小均会对制作半导 体产品的质量造成影响。目前，半导体使用的生产工艺气体的调压器多数仍是人为操作控制的气体 调压器，在半导体生产过程中经常遇到制造部门向气体运输管路提出要求，例如要求气体管路进行循环净化(cycle purge)。循环净化是消除供应气体的运输 管路内气体微粒超标的措施之一，它包括利用高纯度的惰性气体，例如氮气， 对气体管路进行吹扫，再进行抽真空的过程。在执行循环净化时，是将气体管 路上的气体调压器的调压阀杆旋转到最大，使得进入气体运输管路内进行吹扫 的气体压力最大，然后对该气体运输管路进行抽真空。这样反复吹扫和抽真空 后，需旋转气体调压器的调压阀杆将其逐渐恢复到气体调压器原来用于控制运 输管内工艺气体压力时调压阀杆所在的位置，以保证气体运输管路内供应的工 艺气体压力不变。然而目前所有的气体调压器上都无法显示调压阀杆旋转的幅度，且气体调 压器的调压阀杆的运动轨迹多为螺旋式的运动轨迹。调压阀杆两端分别为操作 端和控制端，调压阀杆操作端及阀杆部分通常位于调压阀本体内，而调压阀杆的控制端则外露于调压阀本体，或者通过与调压阀杆控制端连接的调压錄 組实 现调压阀杆控制端的操作。目前的气体调压器不具备显示调压阀杆控制端变化幅度的装置，即无法定 位调压阀杆整体所在位置。因此，每次气体运输管路中需要重新供应工艺气体 时都需要花费大量的时间试着旋转调压阀杆控制端，边调节边观察气体压力的 变化。气体运输管路中的气体压力变化常常滞后于调压阀杆控制端调节幅度的 变化，因此依据气体压力设定气体调压器调压阀杆控制端的位置会存在很大的 误差。若调节调压阀杆控制端后，气体运输管路内气体压力大于供应工艺气体 压力要求则不允许回调调压阀杆控制端。因为回调调压阀杆控制端而降低气体运输管路内工艺气体压力会导致气体管路内产生微粒(Particle),造成工艺气体 污染。综上所述，传统气体调压器调压阀杆控制端的定位方式不仅效率低下，且 由于调压阀杆整体运动轨迹呈螺旋式，很难准确把握原供应工艺气体时调压阀 杆控制端所在位置，即调压阀杆所在的准确位置，从而导致气体运输管路中重 新供应的工艺气体压力不符合要求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种气体调压器，以解决传统气体调 压器存在的调压阀杆难于准确定位的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的气体调压器，它包括调压阀杆和 调压阀本体，所述调压阀杆两端分别为操作端和控制端，所述调压阀杆操作端 位于所述调压阀本体内。所述气体调压器还包括用于读取所述调压阀杆控制端 旋转角度的旋转角度标尺，以及用于读取调压阀杆控制端相对所述调压阀本体 位移的位移标尺。与传统气体调压器相比，本技术的气体调压器通过增设旋转角度标尺 和位移标尺来测量螺旋式运动轨迹的调压阀杆控制端始末状态对应的角度和位 移。这样在循环净化之后可以方便准确地将调压阀杆控制端定位至原先供应工 艺气体时所在的位置。因此，本技术的气体调压器可有效解决
技术介绍
所 揭露的调压阀杆控制端，即调压阀杆难于准确定位的问题。以下结合附图和具体实施方式对本技术的气体调压器作进一步的详细 说明。图l是本技术气体调压器的主视图。图2是附图说明图1所示气体调压器的俯视图。 图3是图1所示气体调压器的侧视图。 图4是本技术气体调压器的使用示意图。具体实施方式请参阅图1所示的主^f见图，本实施例的气体调压器包括调压阀杆1和调压 阀本体2。调压阀杆1操作端及阀杆部分位于调压阀本体2内。调压阀杆1控制 端可设于调压阀本体2内或外露于调压阀本体2。该气体调压器还包旋转角度标 尺4和位移标尺5。旋转角度标尺4围绕调压阀杆2 —端，读取调压阀杆2旋转 的角度，位移标尺5用于读取调压阀杆1相对于调压阀本体2的位移。如图1所示的气体调压器的调压阀杆1控制端，其几乎完全位于调压阀本 体2的内部。在通常状态下，调压阀杆1的控制端及靠近控制端的阀杆部分是 外露于调压阀本体2的。为保护调压阀杆1和避免外界污染源由外露的调压阀 杆1的控制端或阀杆部分进入调压阀本体2，调压阀杆1控制端连接有调压旋钮 3。调压旋钮3为一底面开口的柱帽，盖于调压阀杆l控制端所在的调压阀本体 2的端部。这样调压旋钮3使得外露于调压岡体2的阀杆部分及调压阀杆控制端 与调压阀本体2之间形成密闭的空间，可有效阻挡外界的污染源进入调压阀本 体2或损害外露的阀杆。同时，与调压阀杆1控制端连接的调压旋钮3，便于操 作人员通过调压旋钮3对调压阀杆控制端施力，对其进行控制。如图1所示的旋转角度标尺4为环形标尺，位于调压阀本体2靠近调压旋 钮3的一端面，环绕调压阀杆l的控制端。调压旋钮3为非透明材料，为便于 看到调压阀杆1控制端相对调压阀本体2旋转的角度，调压旋钮3与调压阀杆1 控制端连接的底面开有一扇形孔31,曝露调压阀杆控制端所在环形标尺4的读 数。请参阅图2所示的气体调压器的俯视图，为更准确读取调压阀杆1所对应 的环形标尺4上的读数，调压阀杆1控制端可具有一与其固定连接的读数指针11,位于调压旋钮3扇形孔31和旋转角度标尺4之间。这样读数指针所指示的 环形标尺上的读数可精确地表明此时调压阀杆控制端所在的旋转角度数。当然若调压旋钮3为透明材料制作，可直接显示其下方调压阀本体2端面 上的环形标尺的读数。对应地，只要在调压阀杆控制端上作上标记，就可4艮据 控制端上标记所在位置读取控制端此时所在的角度。所述旋转角度标尺并非局限于环形标尺，该旋转角度标尺也可采用其他旋 转角度测量工具进行测量。本实施例提供的环形标尺相对其他旋转角度测量工 具而言，其制作简单、成本低廉，且可达到准确测量调压阀杆控制端旋转角度 的目的。由于旋转角度标尺仅可用于测量调压阀杆控制端的旋转角度，而不能确定 调压阀杆控制端的竖直位置。因此为测量调压阀杆控制端相对调压阀本体2的 位移，还需要采用位移标尺5进行测量。请参阅图3所示的侧视图。本实施例的位移标尺5为两个方形标尺。两个 方形标尺5位于调压阀本体2的两侧；调压銷 組3底面的边沿位于两个方形标 尺5上。优选地，调压旋钮3的内侧面与方形标尺5表面之间留有空隙，避免 与方形标尺5表面接触。这样可避免方形标尺表面因长期摩擦导致其读数模糊 的问题。当然也可采用四个或更多的位移标尺5来测量调压阀杆控制端或调压阀杆1 整体垂直移动的距离，这样能方便用户从各个不同角度读出调压旋钮3底面在 位移标尺5上所对应的读数。为保持各个位移标尺5上的读数相同，位移标尺5 所放置的位置应是对称的，其上读数范围和刻度也应保持一致。读取调压阀杆 控制端的位移，并非只有本实施例的两个位于调压阀本体2两侧的方形标尺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体调压器，它包括调压阀杆和调压阀本体，所述调压阀杆两端分别为操作端和控制端，所述调压阀杆操作端位于所述调压阀本体内，其特征在于，所述气体调压器还包括用于读取所述调压阀杆控制端旋转角度的旋转角度标尺，以及用于读取调压阀杆控制端相对所述调压阀本体位移的位移标尺。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王东海，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31