用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂技术方案

本发明专利技术涉及用于防止微机械系统中抗粘连的优先沉积润滑剂。本发明专利技术的实施例大体设计由于存在润滑剂而改善了可用寿命的器件，该润滑剂减小了机电器件中的各个运动部件之间发生粘连的可能性。本发明专利技术的实施例还大体包括器件及形成器件的方法，该器件具有一个或多个表面或区域，所述表面或区域上布置有某体积的润滑剂，用作“新鲜”润滑剂的现成供应以防止器件内的相互作用元件之间发生粘连。在一个方面，该体积的润滑剂内的成分形成气相或蒸气相，降低了所形成的器件中与粘连相关的失效的几率。在一种示例中，本发明专利技术的各方面特别有利于制造和使用微机械器件，例如ＭＥＭＳ器件、ＮＥＭＳ器件或其他类似的热学或流体器件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微机械器件组件，包括：　一个或多个壁，其形成处理区域；　储存表面，其布置在所述处理区域内；　第一接触表面，其布置在所述处理区域内；　可动元件，其布置在所述处理区域内并具有第二接触表面，其中，所述第二接触表面在器件 工作过程中与所述第一接触表面相互作用；和　第一润滑剂层，其布置在所述储存表面上，其中，所述润滑剂层包括优先键合到所述储存表面的多个润滑剂分子，并适于降低所述第一接触表面与所述第二接触表面之间与粘连相关的力。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：东敏陈，福林熊，威廉斯潘塞沃利三世，
申请(专利权)人：明锐有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]