一种定点锁固式内传输框架结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种定点锁固式内传输框架结构，该结构在真空溅镀作业的腔体内锁固一框架，且该框架锁固于腔体内时，其锁固位置限于其框缘的四角隅处。即该腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座，而该框架对应该四个锁置座的位置，则各贯穿形成一第一锁孔，用以供若干定位调整单元一端分别穿设第一锁孔而锁固于锁置座处。该框架于两侧底部前后的第一锁孔间，另等间隔形成有若干第二锁孔，各第二锁孔处可分别供一调整螺丝螺设，作为框架水平调整之用，并于水平调整完毕后，利用螺帽锁紧固定其水平高度。本实用新型专利技术不仅精简了框架锁固的作业，方便了框架的水平调整，更能改善框架承受真空压力的结构性。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种框架组装时锁固的结构，特别指一种应用于真空賊镀 的框架在组装时，简化锁固设计而更能适用于作业环境的锁固结构。
技术介绍
真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的 一项重要技术，近年 来己逐渐取代喷导电漆或电解电镀等方式，大量应用在光电、通信及半导体等 产业，成为相当重要的表面处理技术。请参阅图1所示， 一般真空溅镀技术利用磁控濺镀阴极板1 1 ,将离子化的气体分子1 3以高速轰击激发镀材1 8 ，使镀膜分子1 2均匀散布在真空腔 体l 0内各个角落，再通过电位差高速溅射在被镀物1 9表面上，进而达到镀 膜的目的。而因应真空溅镀制程应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竟争力， 目前大部分溅镀设备为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圓式生产方式。如图2所示，连续式传输作业流程如可概分为进料区、溅镀区及出料区三个区域。每一个区域都至少由一真空腔体1 O组成，再利用传输机构将被镀物 1 9输送至不同区域的真空腔体1 0内进行各项程序作业。而一般连续式真空賊镀设备其自动化传输机构皆利用极限开关及摩擦原理来完成不同腔体之间传输顺序。请再参阅图3、图4,每个腔体内设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种定点锁固式内传输框架结构，包含一真空溅镀用的腔体，以及锁固组设于所述腔体内的框架，其特征在于：　所述框架锁固于腔体内，锁固位置限于框缘的四角隅处，即所述腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座，而所述框架对应所述四个锁置座的位置，则分 别贯穿形成一第一锁孔，若干定位调整单元一端分别穿设所述第一锁孔锁固于锁置座处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎瑞海，
申请(专利权)人：凌嘉科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]