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一种定点锁固式内传输框架结构制造技术
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下载一种定点锁固式内传输框架结构的技术资料
文档序号:5497940
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本实用新型提供了一种定点锁固式内传输框架结构,该结构在真空溅镀作业的腔体内锁固一框架,且该框架锁固于腔体内时,其锁固位置限于其框缘的四角隅处。即该腔体内底部四角落适当处各凸设一锁置座,而该框架对应该四个锁置座的位置,则各贯穿形成一第一锁孔,...
该专利属于凌嘉科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过凌嘉科技股份有限公司授权不得商用。
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