基板修复系统以及基板修复方法技术方案

基板修复系统（１）能够缩短修复作业时间并防止进行不必要的修复处理，从而能够高效地进行修复处理。基板修复系统（１）具有：缺陷信息取得单元（２），用以取得目标基板（９）的全部区域的缺陷信息；修复单元（３），具有１个以上的液滴喷吐单元（６），该液滴喷吐单元（６）根据缺陷信息取得单元（２）所取得的缺陷信息，对目标基板（９）的缺陷部滴注液滴；修复判断单元（４），对于每一个目标基板（９），根据缺陷信息取得单元（２）所取得的缺陷信息来判断是否需要由修复单元（３）进行修复动作。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有利用喷墨方式对散布在基板上的要修复部分进行修复这 样的修复功能的基板修复系统、基板修复方法、程序以及计算机可读取的记录介质。
技术介绍
近几年，不仅要求液晶显示装置或电致发光(EL)式显示装置的显示尺寸大 面积化，而且为降低成本，要求在制造工序中通过使用大面积基板一并对多个显示 装置进行生产。另外，关于显示装置，不希望其因显示像素的显示缺陷而导致图像中出现黑 点或白点(发白光)，且要求较少的色不均缺陷。然而，例如关于液晶显示装置的滤色器(CF: color filter)基板或EL基板的 制造，从技术上来说不可能使一个基板中的所有像素都良好，因此制造无黑点或白 点的显示装置是极为困难的。对此，已公开有这样一种技术，即在利用现有技术实施制造大面积的CF基 板或EL基板后，对其进行检测并以喷墨方式滴注修正液以修复缺陷像素的技术(例 如专利文献l)。根据该技术，即使是面积大的CF基板或EL基板也不会出现缺 陷像素，其结果能够得到高品质的显示装置。另外，不仅对于缺陷像素的修复，对于CF基板或EL基板的制造工序中所发 生的缺陷部分，也可以使用同样的喷墨技术。在该技术中，同一装置内设置有能 够对基板的全部区域滴注液滴的线型喷墨喷头、用以检测该线型喷墨喷头在滴注液 滴时所产生的缺陷像素的检测装置、对判断为缺陷的缺陷像素进行修复的喷墨喷 头，从而能够制造无缺陷的基板(例如专利文献2)。在专利文献1所示的修复装置中，含有缺陷检测装置、激光照射装置、采用 喷墨方式的缺陷修正装置，通过该些装置能够修复基板上的缺陷。另外，在专利文献2中，利用修复用的喷墨器来修补因线型喷墨喷头的喷吐 不良所导致的缺陷，由此，通过单一装置即可得到无缺陷的基板。近年，为了实现4显示装置的低成本化，对修复处理的高速化提出了进一步要求。专利文献l:日本国专利申请公开特开2001-66418号公报，公开日2001年 3月16曰。专利文献2:日本国专利申请公开特开2005-185978号公报，公开日2005 年7月14日。
技术实现思路
然而，在专利文献1所述的装置中，对一个缺陷像素连续进行缺陷检测、激 光去除、修复这一系列动作，且无论基板上有多少个缺陷像素，对缺陷像素逐个反 复进行该一系列动作来进行修补。因此，要结束一个基板的修补就要用相当长的时 间，其结果导致出现成本上升的问题。另外，因缺陷的排列状态(修复后的像素排列状态)会导致发生色不均缺陷， 所以，即使进行了修复，基板也无法使用，其结果，将出现对没有修复价值的基板 也进行修复这样的问题。由于色不均缺陷而导致无法使用的基板，其随制品的规格(限度规格)的不 同而不同。无法使用的基板例如有其修复像素密集于某一部分附近的基板、修复 像素散布于一条线上的基板、修复像素呈一定规则排列的基板等。另外，在专利文献2所述的装置中，虽然能够避免因喷吐不良所导致的缺陷， 但由于在烧制工序中会形成像素缺陷，所以，不可能使基板上完全不存在缺陷像素， 其结果，将出现另需进行其他修复作业的问题。烧制工序中的缺陷像素是指，例如， 在烧制工序中，因热能而导致液滴材料的表面张力减小时，与充填有其他液滴的相 邻像素发生混色，从而导致无法得到所期望的颜色。此外，在对线型喷墨喷头滴注液滴时成为缺陷的缺陷像素进行检测时，无法 进行其他处理(线型喷墨头对别的基板进行液滴滴注、进行对目标基板的修复)， 导致出现了装置被长时间占用的问题。本专利技术的目的在于提供一种能够縮短修复的作业时间、防止进行不必要的修 复处理并能够高效率地进行修复处理的基板修复系统。为解决上述问题，本专利技术的基板修复系统的特征在于包括缺陷信息取得装 置，用以取得目标基板的全部区域的缺陷信息；修复装置，具有l个以上的液滴喷 吐装置，该液滴喷吐装置根据上述缺陷信息取得装置所取得的缺陷信息对上述目标 基板的缺陷部滴注液滴；以及修复判断装置，对于每一个目标基板，根据上述缺陷信息取得装置所取得的缺陷信息来判断是否需要由上述修复装置进行修复动作。根据上述结构，缺陷信息取得装置一次性取得目标基板的全部区域的缺陷信 息后，对于每一个目标基板，修复判断装置能够根据该缺陷信息来判断是否需要进 行修复。因此，能够避免对需要相当长的修复时间的基板、或即使进行了修复也因 色不均缺陷而无法使用的基板即无修复必要的基板进行修复处理。其结果，能够提 高修复效率。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是上述液滴喷吐装置是多个能够各自 独立移动的液滴喷吐装置，上述修复判断装置具有分配部，将上述缺陷信息取得 装置所取得的缺陷信息分配给上述多个液滴喷吐装置中的每一个；以及判断部，根 据上述分配部所分配的缺陷信息来判断是否需要进行上述修复动作。根据该结构，修复装置具有多个诸如喷墨喷头的液滴喷吐装置，将散布于基 板上的缺陷分配给各液滴喷吐装置并分别进行修复，从而，能够縮短修复处理的作 业时间。同时，根据每一液滴喷吐装置所分担的缺陷的状态(例如，个数或排列状 态)来判断是否要对基板进行修复，从而能够切实地对每一个基板判断是否要进行 处理。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是，进一步具备基板输送装置，该基板 输送装置具有第1输送部，将上述目标基板从上述缺陷信息取得装置输送至上述 修复装置；以及第2输送部，将上述目标基板从上述缺陷信息取得装置输送至缺陷 基板保持装置，上述基板输送装置根据上述修复判断装置的判断结果在上述第1 输送部和上述第2输送部中进行选择。根据上述结构，在由缺陷信息取得装置取得了目标基板的缺陷信息后，能够 根据该缺陷信息，将基板分送给用以暂时或长期保管缺陷基板的缺陷基板保持装置 或用以进行修复处理的修复装置。因此，能够高效率地对多个基板进行处理。另外， 由于能够一边进行基板的修复处理一边取得其他基板的缺陷信息，所以，能够縮短 作业时间。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是，上述修复判断装置根据由上述缺陷 信息计算出的、上述目标基板上的缺陷个数或最大缺陷密集度，判断是否需要进行 上述修复动作。根据上述结构，对于没有修复价值的基板，能够根据缺陷信息来判断不对其 进行处理。其结果是能够高效率地进行修复处理。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是，上述修复判断装置根据上述修复装6置的修复时间来判断是否需要进行上述修复动作，该修复时间是基于上述缺陷信息 所计算出的进行修复所需的时间。根据该结构，能够在修复装置进行修复动作之前，根据缺陷信息预先计算出 的所要修复时间，所以，当所要修复时间超过预定时间时，能够判断不进行目标基 板的修复。其结果，能够高效率地进行修复处理。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是，上述修复判断装置具有确定部， 根据上述缺陷信息来确定要由上述液滴喷吐装置修复的缺陷；以及计算部，用以计 算上述液滴喷吐装置的第1喷吐定时与后续的第2喷吐定时之间的时间间隔，上述 修复判断装置根据上述时间间隔，判断是否需要进行上述修复动作。根据该结构，例如，当具有作为修复装置的喷墨喷头时，能够仅对满足下述 条件的基板进行处理，从而能够提高修复装置的修复可靠性，所述条件为计算部 所计算的非喷吐时间即不进行喷吐动作的时间小于等于可再开始喷吐的一定时间。在本专利技术的基板修复系统中，优选的是，上述修复判断装置根据每一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板修复系统，其特征在于，包括：　缺陷信息取得装置，用以取得目标基板的全部区域的缺陷信息；　修复装置，具有１个以上的液滴喷吐装置，该液滴喷吐装置根据上述缺陷信息取得装置所取得的缺陷信息对上述目标基板的缺陷部滴注液滴；以及修复判断装置，对于每一个目标基板，根据上述缺陷信息取得装置所取得的缺陷信息来判断是否需要由上述修复装置进行修复动作。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛吉纪，田村寿宏，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]