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基板修复系统以及基板修复方法技术方案
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文档序号:5493325
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基板修复系统(1)能够缩短修复作业时间并防止进行不必要的修复处理,从而能够高效地进行修复处理。基板修复系统(1)具有:缺陷信息取得单元(2),用以取得目标基板(9)的全部区域的缺陷信息;修复单元(3),具有1个以上的液滴喷吐单元(6),该液...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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