特征分析装置制造方法及图纸

提供一种能够在视觉上确认检查体的特征，能够比较少地进行基于特征的分类的自由度限制的特征分析装置。成为以下结构：取得检查体的检查体信息的单元（Ｓ１），分析所述检查信息，确定多个层级各自的特征参数的值（Ｓ２～Ｓ５），针对多个层级，分别根据多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量（Ｓ２～Ｓ５），将所述参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量（Ｓ２～Ｓ５），生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组，作为表示所述检查体的特征信息，其中多个节是针对所述多个层级得到的多个层级矢量按该层级的顺序连接得到的（Ｓ６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对在拍摄半导体晶片的表面进行检查时使用的摄影图像等检查体的 特征进行分析的特征分析装置。
技术介绍
以往，提出了针对半导体晶片中的缺陷部的类利用其图像进行分类的装置(参照 专利文献1)。在该装置中，对拍摄半导体晶片(检查对象物)而得到的图像进行分析，对表 现在该图像中的半导体晶片的缺陷等进行分类。具体而言，对表示图像中所表现的缺陷部 的形状、颜色、图像亮度等特征的多个参数进行数值化，将由这些多个参数的组所定义的矢 量生成为表示该缺陷部的特征的特征量矢量。此外，根据在特征量空间中与该特征量矢量 对应的点(特征点)的位置，对包含在该图像中的缺陷部进行分类。这样，采用对表示图像(检查体)的图像数据(检查体信息例如，像素单位的亮 度值)进行分析，从而得到表示该图像的特征的特征量矢量的特征分析装置，能够根据该 特征量矢量，对该图像所表现的、例如半导体晶片的缺陷等检查对象进行分类。专利文献1 日本特开2001-256480号公报但是，在上述现有的特征分析装置中，在为了提高分析精度而使用较多的特征参 数时，由这些较多的特征参数构成的特征量矢量成为三维以上的多维矢量。因此，难以提供 能够视觉确认检查体的特征和分布状态的适当的用户界面。此外，将检查体的特征与特征量空间内的一个点对应，因此限制了其分类的自由度。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于这种情况而完成的，其提供一种如下的特征分析装置能够容易 提供在视觉上能确认检查体的特征的用户界面，能够比较少地进行基于特征的分类的自由 度限制。本专利技术所涉及的特征分析装置，其将表示由预定形式的检查体信息定义的检查体 的特征的多个类设定为多个层级，并且设定分别属于所述多个类的多个特征参数，对该多 个特征参数分别分配同一平面上的方向，其中，该特征分析装置构成为具有取得成为分析 对象的检查体的检查体信息的单元；参数值确定单元，其分析所取得的所述检查信息，确定 所述多个层级各自的特征参数的值；参数矢量生成单元，其针对所述多个层级，分别根据所 述多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量；矢量转换单元，其将分别针 对所述多个层级得到的参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量；以 及特征信息生成单元，其生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组，作为表示成为分析 对象的所述检查体的特征的特征信息，其中所述多个节是将针对所述多个层级得到的多个 层级矢量按该层级的顺序进行连接而得到的。根据这种结构，能够用将与三维空间的多个层级分别对应的三维矢量的层级矢量按该层级的顺序连接而得到的多个节的坐标点的组来表现检查体的特征。此外，在本专利技术所涉及的特征分析装置中，能够设为以下结构所述矢量转换单元 生成预定长度、且所述参数矢量的方向的分量与该参数矢量的大小一致的层级矢量。根据这种结构，能够生成长度相同的多个层级矢量，连接生成为特征信息的多个 层级矢量而得到的多个节的间隔成为恒定。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有特征显示控制单元， 该特征显示控制单元根据所述特征信息，将与所连接的所述多个层级矢量对应的节和臂的 连接体显示在显示单元上。根据这种结构，能够用节和臂的连接体使检查体的特征可视化。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有相似度生成单元，该 特征分析装置具有相似度生成单元，该相似度生成单元根据第一特征信息中包含的坐标值 组中的各坐标值所确定的节、和与第二特征信息中包含的坐标值组对应的坐标值所确定的 节之间的位置关系，生成表示所述第一特征信息和所述第二特征信息的相似程度的相似度 fn息ο根据这种结构，在将用包含在第一特征信息中的坐标值的组的各坐标值确定的 节、和用包含在第二特征信息中的坐标值的组所对应的坐标值确定的节显示在三维空间内 时，能够根据与第一特征信息对应的节组、和与第二特征信息对应的节组之间的位置关系， 判断用所述第一特征信息和所述第二特征信息表现其特征的两个检查体的相似程度。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有相似度信息显示控 制单元，该相似度信息显示控制单元将所述相似度信息显示在所述显示单元上。根据这种结构，能够定量得知用所述第一特征信息和所述第二特征信息表现其特 征的两个检查体的相似程度。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有组设定单元，该组设 定单元针对多个检查体分别将所述特征信息保持为训练信息，并根据关于该多个检查体的 训练信息的分布状态，设定各检查体应被分类的多个组。根据这种结构，将实际的检查体的特征信息设为训练信息，并根据该训练信息的 分布状态，设定检查体应被分类的多个组，因此能够进行与检查体具有的特征的实际情况 对应的分类。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有特征登记单元，该特 征登记单元将所述检查体的特征信息登记为所指定的组的训练信息。根据这种结构，能够在所指定的组中将检查体的特征信息登记为训练信息。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构该特征分析装置具有以 下单元，该单元根据针对成为分析对象的检查体得到的特征信息中包含的坐标值组中的各 坐标值所确定的节、和与组中包含的至少一个训练信息中包含的坐标值组对应的坐标值所 确定的节之间的位置关系，判定成为所述分析对象的检查体是否属于所述组。根据这种结构，能够通过用包含在组所包含的至少一个训练信息中的坐标值的组 的各坐标值来确定的节，将与包括确定较近的节的坐标值的组的特征信息对应的检查体判 定为属于所述组。所述训练信息可以为包含在所述组中的任意的单一训练信息，也可以是多个训练信息。在多个训练信息的情况下，可以根据与各个训练信息之间的位置关系来判定是否属 于所述组，也可以根据与由多个训练信息生成的代表性训练信息之间的位置关系来判定是 否属于所述组。此外，本专利技术所涉及的特征分析装置能够设为以下结构具有分类评价单元，该分 类评价单元根据被设定为与第一组对应的多个训练信息中分别包含的坐标值组中的各坐 标值所确定的节的分布范围、以及被登记为与第二组对应的多个训练信息中分别包含的坐 标值组中的各坐标值所确定的节的分布范围，进行所述第一组和所述第二组的训练信息的 分类是否适当的评价。根据这种结构，在用包含在被确定为与第一组对应的多个训练信息的每个中的坐 标值的组的各坐标值来确定的节的分布范围、和用包含在被登记为与第二组对应的多个训 练信息的每个中的坐标值的组的各坐标值来确定的节的分布范围在三维空间中明确分离 的情况下，能够判断为这些第一组和第二组的训练信息的分类适当。此外，在本专利技术所涉及的特征分析装置中，能构成为所述检查体是待检查表面状 态的物体的该表面的摄影图像的至少一部分。根据这种结构，能够根据该摄影图像分析形成在半导体晶片的表面上的缺陷等特 征。此外，在本专利技术所涉及的特征分析装置中，优选的是，被设定为所述多个层级的多 个类具有表示与图像的颜色相关的特征的类，表示与图像的频率特性相关的特征的类，表 示与图像的浓度或亮度的分布状态相关的特征的类，以及表示与包括图像内特征部位的形 状、大小和明亮度的物理量相关的特征的类。此外，在本专利技术所涉及的特征分析装置中，优选所述表示与图像的颜色相关的特 征的类被设定为最下层级(第一层)，所述表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种特征分析装置，其将表示由预定形式的检查体信息定义的检查体的特征的多个类设定为多个层级，并且设定分别属于所述多个类的多个特征参数，对该多个特征参数分别分配同一平面上的方向，其中，该特征分析装置具有：取得成为分析对象的检查体的检查体信息的单元；参数值确定单元，其分析所取得的所述检查体信息，确定所述多个层级各自的特征参数的值；参数矢量生成单元，其针对所述多个层级，分别根据所述多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量；矢量转换单元，其将分别针对所述多个层级得到的参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量；以及特征信息生成单元，其生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组，作为表示成为分析对象的所述检查体的特征的特征信息，其中所述多个节是将针对所述多个层级得到的多个层级矢量按该层级的顺序进行连接而得到的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-12-5 2007-314088一种特征分析装置，其将表示由预定形式的检查体信息定义的检查体的特征的多个类设定为多个层级，并且设定分别属于所述多个类的多个特征参数，对该多个特征参数分别分配同一平面上的方向，其中，该特征分析装置具有取得成为分析对象的检查体的检查体信息的单元；参数值确定单元，其分析所取得的所述检查体信息，确定所述多个层级各自的特征参数的值；参数矢量生成单元，其针对所述多个层级，分别根据所述多个特征参数各自的值和对应的方向生成单一的参数矢量；矢量转换单元，其将分别针对所述多个层级得到的参数矢量转换成作为预定的三维空间中的三维矢量的层级矢量；以及特征信息生成单元，其生成多个节在所述三维空间中的坐标值的组，作为表示成为分析对象的所述检查体的特征的特征信息，其中所述多个节是将针对所述多个层级得到的多个层级矢量按该层级的顺序进行连接而得到的。2.根据权利要求1所述的特征分析装置，其中，所述矢量转换单元生成预定长度、且所 述参数矢量的方向的分量与该参数矢量的大小一致的层级矢量。3.根据权利要求1所述的特征分析装置，其中，该特征分析装置具有特征显示控制单 元，该特征显示控制单元根据所述特征信息，将与所连接的所述多个层级矢量对应的节和 臂的连接体显示在显示单元上。4.根据权利要求1所述的特征分析装置，其中，该特征分析装置具有相似度生成单元， 该相似度生成单元根据第一特征信息中包含的坐标值组中的各坐标值所确定的节、和与第 二特征信息中包含的坐标值组对应的坐标值所确定的节之间的位置关系，生成表示所述第 一特征信息和所述第二特征信息的相似程度的相似度信息。5.根据权利要求1所述的特征分析装置，其中，该特征分析装置具有相似度信息显示 控制单元，该相似度信息显示控制单元将所述相似度信息显示在所述显示单元上。6.根据权利要求1所述的特征分析装置，其中，该特征分析装置具...

【专利技术属性】
技术研发人员：林义典，若叶博之，宫园浩一，小野洋子，森秀树，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]