一种真空过滤罐制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空过滤罐，该真空过滤罐的罐内设有进气道且在罐体上设有进气口，进气道与进气口相通连；在罐内横向设有上、下通气挡板，通气挡板上具有通气孔；罐内设置有中心出气道，中心出气道与出气口相通连，且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通；在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网，过滤网的上部圆周与中心出气道的外壁相贴近。采用本实用新型专利技术，由于采用上小下大的喇叭形状的过滤网，过滤面积增加，可增加过滤效果，同时，灰尘、高温挥发物等在经过倾斜的过滤网后会过滤并落下，而不会形成大量附结，就不会影响真空泵的吸力，确保了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单晶成品率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空过滤罐，用于单晶硅的生产。
技术介绍
在直拉单晶的生产中，单晶的熔解、成晶需要在高温真空状态下进行，单晶炉内会 产生许多高温挥发物，这些高温挥发物伴随着空气中的灰尘，如果直接任其进入到真空泵 内，会较大地污染真空泵油，影响真空泵的安全运行，因此，在单晶炉与真空泵之间，需要配 置一个真空过滤罐。通常，该真空过滤罐的内部设置有中心出气道，中心出气道与出气口相 连；在罐体的下部设有进气口，在罐内设置有横向的上、下通气挡板，上、下通气挡板上均具 有通气孔，，且上、下通气挡板通过通气孔与中心出气道相通；在上、下通气挡板之间套装有 一个上下直径相等且与上、下通气档板相垂直的直筒过滤网。这种真空过滤罐，一是过滤效 果不理想，仍然会有较多的灰尘、高温挥发物污染真空泵油，一般每直拉单晶5 6炉就需 要更换真空泵油。二是灰尘、高温挥发物等会附结在过滤网上，从而大大影响真空泵的吸力 和抽吸效果，甚至影响单晶成品率。
技术实现思路
本技术的目的是提供具有好的过滤效果，且灰尘、高温挥发物等不会附结在 过滤网上的一种真空过滤罐。本技术采取的技术方案是一种真空过滤罐，在罐内设有进气道且在罐体上 设有进气口，进气道与进气口相通连；在罐内横向设有上、下通气挡板，通气挡板上具有通 气孔；罐内设置有中心出气道，中心出气道与出气口相通连，且上、下通气挡板通过通气孔 与进气道、中心出气道相通；其特征在于在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭 形状的过滤网。所述的过滤网的上部圆周与中心出气道的外壁相贴近。所述的进气道设置在罐内的侧边且在罐体的中上部设有进气口。所述的进气道设置在罐内的底部且在罐体的下部设有进气口。采用本技术，由于采用上小下大的喇叭形状的过滤网，过滤面积增加，可增加 过滤效果，同时，灰尘、高温挥发物等在经过倾斜的过滤网后会过滤并落下，而不会形成大 量附结，就不会影响真空泵的吸力，确保了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单 晶成品率。附图说明图1是本技术的示意图。图中序号表示上通气档板1、罐体2、进气口 3、进气道4、下通气档板5、过滤网6、 中心出气道7、通气孔8、出气口 9。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1，该真空过滤罐包括上通气档板1、罐体2、进气口 3、进气道4、下通气档板 5、过滤网6、中心出气道7、通气孔8和出气口 9 ；在罐体2内的侧边设有进气道4，在罐体2 的中上部设有进气口 3，进气道4与进气口 3相通连；在罐体2内横向设有上通气挡板1和 下通气档板5，上通气挡板1和下通气档板5上均具有通气孔8 ；罐体2内的中心处设置有 中心出气道7，中心出气道7位于上通气挡板1和下通气档板5之间，中心出气道7与出气 口 9相通连；上通气挡板1和下通气档板5通过通气孔8与中心出气道7、进气道4相通； 上小下大的喇叭形状的过滤网6套装在上通气挡板1和下通气档板5之间，过滤网6的上 部圆周与中心出气道7的外壁相贴近。使用时，从单晶炉中出来的灰尘、高温挥发物通过进气口 3及进气道4进入，与进 气道4碰撞后产生少部分沉淀；之后，经过下通气档板5，通过下通气档板5以及通气孔8又 初步过滤，一部分大的颗粒又沉淀；然后，通过具有喇叭形状的过滤网6，进一步进行过滤， 细小的颗粒会吸附在过滤网6上，随着吸附量的增多并形成大的颗粒而沉淀，这样，洁净的 气体经过上通气挡板1上的通气孔8，进入中心出气道7，从出气口 3进入真空泵。由于采用上小下大的喇叭形状的过滤网6，过滤面积增加，可增加过滤效果，同时， 灰尘、高温挥发物等在经过倾斜的过滤网6后，会随着吸附量的增多并形成大的颗粒，在自 重力作用下而沉淀，不易附结在倾斜的过滤网6上，确保了单晶炉内真空抽吸效果，在一定 程度上保证了单晶成品率。据实践证明，采用该真空过滤罐，真空泵油的使用寿命可延长到 原来的2倍，可以使用到11 12炉后才需要更换。另外，在上述中，如果将进气口 3设置在罐体2的下部，且位于下通气档板5之下， 则进气道4可视为下通气档板5与罐体2的底部之间的区域，达到的进气效果与图1中效 果基本相同，在此不在另行表述。权利要求1.一种真空过滤罐，在罐内设有进气道且在罐体上设有进气口，进气道与进气口相通 连；在罐内横向设有上、下通气挡板，通气挡板上具有通气孔；罐内设置有中心出气道，中 心出气道与出气口相通连，且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通；其特 征在于在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网。2.根据权利要求1所述的一种真空过滤罐，其特征在于过滤网的上部圆周与中心出气 道的外壁相贴近。3.根据权利要求1所述的一种真空过滤罐，其特征在于所述的进气道设置在罐内的侧 边且在罐体的中上部设有进气口。4.根据权利要求1所述的一种真空过滤罐，其特征在于所述的进气道设置在罐内的底 部且在罐体的下部设有进气口。专利摘要本技术涉及一种真空过滤罐，该真空过滤罐的罐内设有进气道且在罐体上设有进气口，进气道与进气口相通连；在罐内横向设有上、下通气挡板，通气挡板上具有通气孔；罐内设置有中心出气道，中心出气道与出气口相通连，且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通；在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网，过滤网的上部圆周与中心出气道的外壁相贴近。采用本技术，由于采用上小下大的喇叭形状的过滤网，过滤面积增加，可增加过滤效果，同时，灰尘、高温挥发物等在经过倾斜的过滤网后会过滤并落下，而不会形成大量附结，就不会影响真空泵的吸力，确保了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单晶成品率。文档编号B01D50/00GK201855640SQ20102057665公开日2011年6月8日 申请日期2010年10月23日 优先权日2010年10月23日专利技术者徐增宏, 方明游, 王土军, 童时潮 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空过滤罐，在罐内设有进气道且在罐体上设有进气口，进气道与进气口相通连；在罐内横向设有上、下通气挡板，通气挡板上具有通气孔；罐内设置有中心出气道，中心出气道与出气口相通连，且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通；其特征在于在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐增宏，王土军，方明游，童时潮，
申请(专利权)人：浙江硅宏电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33