【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器芯片、传感器盒及分析装置。
技术介绍
近年来，随着用于医疗诊断和食品检验等中的传感器的需求不断增加，需要开发 小型且可快速检测的传感器技术。为满足这些需求，进行了以电化学方法为首的各类型传 感器的研究。其中，考虑到可集成化、低成本、且不选择测定环境等因素，应用了表面等离子 共振(SPR:Surface Plasmon Resonance)的传感器受到高度关注。这里，所谓的表面等离子体是指由表面固有的边界条件引起与光耦合的电子波振 动模式。作为激发表面等离子体的方法，存在如下的方法在金属表面刻衍射光栅并使光与 等离子体(Plasmon，等离子体激元)结合的方法、利用渐逝波的方法。例如，作为利用SPR 的传感器的结构，公知有包括全反射棱镜、与形成在该棱镜的表面的目标物质接触的金属 膜的结构。通过这种结构来检测有无目标物质的吸附，例如有无抗原抗体反应时的抗原吸 附等。然而，金属表面存在传输型表面等离子体，另一方面，金属微粒上也存在局部型表 面等离子体。已知在局部型表面等离子体、即表面的微细结构上局部存在的表面等离子体 被激发时，会感应有显著增强的...
【技术保护点】
一种传感器芯片，其特征在于，包括：基底部件，具有平面部；以及衍射光栅，具有由金属形成的表面并形成在所述平面部上，目标物质配置在所述衍射光栅上，所述衍射光栅包括：多个第一突起，沿与所述平面部平行的第一方向按１００ｎｍ以上且１０００ｎｍ以下的周期周期性地排列；多个基底部分，位于相邻的两个所述第一突起之间，构成所述基底部件的基底；多个第二突起，形成在所述多个第一突起的上面；以及多个第三突起，形成在所述多个基底部分上。
【技术特征摘要】
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