下载传感器芯片、传感器盒及分析装置的技术资料

文档序号:5282029

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本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒及分析装置。该传感器芯片包括:基底部件,具有平面部;以及衍射光栅,具有由金属形成的表面并形成在所述平面部上,目标物质配置在所述衍射光栅上,所述衍射光栅包括:多个第一突起,沿与所述平面部平行的第一方向按10...
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