质量流量控制器的自动检验系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种质量流量控制器的自动检验系统和方法，在检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。可以利用数字通讯技术完成对质量流量控制器进行自动检验，该方法突破了传统的手工记录、等待数据、计算最终结果的方法，大大提高了结果可靠性和生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种自动检验数字型气体质量流量控制器的装置，尤其涉及一种质 量流量控制器的自动检验系统和方法。
技术介绍
目前，检验质量流量控制器大都采用人工定时记录各个点的精度，根据记录的 数据进行手工计算得到这台质量流量控制器的精度、线性以及重复性的图标。这样做大 大浪费了人力物力，结果可靠性和生产效率也因此大大降低。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可靠性高、效率高的质量流量控制器的自动检验系统 和方法。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的本专利技术的质量流量控制器的自动检验系统，包括检验气路，所述检验气路包括 气源和减压装置，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元 和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数 字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。本专利技术的上述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的方 法，包括步骤首先，设定相关的参数，包括在质量流量控制器的量程内设置多个读取点，并 设置各点的读取次数和读取间隔时间；之后，分别读取质量流量标准测量单元在每个读取点的流量值，并将该值与质 量流量控制器设定的读取点的值进行比较；然后，根据检测的数据计算相应的精度、线性、重复性的值，并绘制图表和打 印。由上述本专利技术提供的技术方案可以看出，本专利技术所述的质量流量控制器的自动 检验系统和方法，由于检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流 量控制器，质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通 过串口与计算机连接。可以利用数字通讯技术完成对质量流量控制器进行自动检验，该 方法突破了传统的手工记录、等待数据、计算最终结果的方法，大大提高了结果可靠性 和生产效率。附图说明图1为本专利技术中质量流量控制器的结构示意图；图2为本专利技术的质量流量控制器的自动检验系统的结构示意图；图3为本专利技术的质量流量控制器的自动检验方法的流程图。具体实施例方式本专利技术的质量流量控制器的自动检验系统，其较佳的具体实施方式如图2所 示，包括检验气路，检验气路包括气源和减压装置，所述的减压装置之后的检验气路上 依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量 单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。本专利技术的上述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的方 法，其较佳的具体实施方式如图3所示，包括步骤首先，设定相关的参数，包括在质量流量控制器的量程内设置多个读取点，并 设置各点的读取次数和读取间隔时间；之后，分别读取质量流量标准测量单元在每个读取点的流量值，并将该值与质 量流量控制器设定的读取点的值进行比较；然后，根据检测的数据计算相应的精度、线性、重复性的值，并绘制图表和打 印。所述质量流量控制器的量程内的多个读取点可以包括25%, 50%, 75%处的点。所述质量流量控制器的量程内的多个读取点的设定顺序可以为25%, 50%, 75%, 75%, 50%, 25%。所述的读取次数大于或等于1次。本专利技术的质量流量控制器的自动检验系统，是一种针对数字型气体质量流量的 精度，线性，重复性检测的装置。利用数字通讯技术完成了对质量流量控制器进行自动 检验，该方法突破了传统的手工记录、等待数据，计算最终结果的方法。大大提高了生 产效率。下面对本专利技术进行详细的描述首先介绍一下质量流量控制器的工作原理和测量原理工作原理质量流量控制器(MFCs)用于对气体质量流量进行精密测量及控 制。其测量及控制精度不受一定范围的气压及温度变化影响。质量流量计(MFMs)用于 对气体的质量流量进行精密测量。如图1所示，质量流量控制器包括分流器、传感器、电路板及调节阀等部分。分流器、传感器及电路板的测量部分组成了质量流量控制器的流量测量单元， 它们也组成了质量流量计。调节阀与电路板的控制部分组成了质量流量控制器的控制单元，它们只存在于 质量流量控制器中。因此，每台质量流量控制器都包含一台质量流量计。测量原理气流由传感器一分为二气体的一部分流入传感器，其质量流量的 实际大小由传感器测量；气体的其它部分流过分流器，其大小由分流器限制。分流器的规格与量程范围的大小成比例。传感器输出的电压与流经传感器的气体质量流量大小成正比，该流量的大小与 分流器的设计有关，与通过质量流量计或质量流量控制器的总流量成正比。电路板放大了传感器测得的信号并将其线性化，所以电路板的输出值也就是显示值，与通过质量流量控制器或质量流量计的气体的质量流量大小成比例。输出信号为 0-5V电压当信号为零时，表示没有气体流过；当信号为5V时，表示流过的气体质量 流量达到满量程。满量程为设计及标定时的最大质量流量大小。根据上面对工作原理和测量原理的描述，可以看出流量检测输出和设定信号的 输入均可以从电路板获得。本专利技术设计了一个自动检测系统，通过获得的流量检测信号 和软件设定来完成自动完成。具体的气路实现如图2所示，在减压器的后端接质量流量标准测量单元(DHI)， 然后接质量流量控制器(MFC)产品。其中质量流量标准测量单元和质量流量控制器都可以进行数字通讯，并分别与 计算机连接。通过串口通讯可实时获取MFC的流量检测数据和DHI的流量检测数据。 这样就省去了人工定时记录瞬时流量值的工作，直接用计算机来进行，进行反复多次测 量取值后，完成对质量流量控制器的数据记录，接下来的步骤就是利用记录的数据自动 计算质量流量控制器的精度、线性和重复性。最后将结果的图表直接通过打印机输出。 这样又省去了人工根据记录的数据计算质量流量控制器的精度、线性和重复性。如图3所示，具体的检测步骤包括首先，设定相关的参数为了保证最终数据的准确度，一般不会只读取一遍从0%到100%的数据，作为 最终结果的计算依据，所以在这里要设置读取数据的遍数，一般不少于1遍；对于需要 读取的25%，50%, 75%各点，也需要设置各点的读取次数和读取间隔时间。之后，对流量计分别设定为25%，50%, 75%。分别读取DHI在设定为25%， 50%, 75%各点的值，并记录此时DHI的流量读数。注对于流量计设定顺序为25%，50%, 75%, 75%, 50%, 25%从0%到 0%为一个完整的检测过程。此文档所说的读取数据的遍数就是上述的检测过程。一遍 为一个完整的检测过程。根据检测的数据计算相应的精度，线性，重复性的值，然后绘制图表，最后通 过打印机打印图表。以上所述，仅为本专利技术较佳的具体实施方式，但本专利技术的保护范围并不局限于 此，任何熟悉本
的技术人员在本专利技术披露的技术范围内，可轻易想到的变化或 替换，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。权利要求1.一种质量流量控制器的自动检验系统，包括检验气路，所述检验气路包括气源和 减压装置，其特征在于，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测 量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别 设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。2.—种权利要求1所述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的 方法，其特征在于，包括步骤首先，设定相关的参数，包括在质量流量控制器的量程内设置多个读取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种质量流量控制器的自动检验系统，包括检验气路，所述检验气路包括气源和减压装置，其特征在于，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宇，赵迪，吴薇，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]