【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
薄膜晶体管用作开关元件而独立地驱动有机发光装置或诸如液晶显示器的平面 显示装置中的像素。平面显示装置包括薄膜晶体管阵列面板，薄膜晶体管阵列面板中的每 个薄膜晶体管都连接至信号线，例如用于向薄膜晶体管传输扫描信号的扫描信号线(或栅 极线)、以及用于向薄膜晶体管传输数据信号的数据线。每个薄膜晶体管还连接至像素电 极。信号线沿薄膜晶体管阵列面板的长度延伸，使得必须用具有低电阻率的材料来形 成信号线。因此，使用具有低电阻率的铜(Cu)作为形成信号线的材料。钝化层通常沉积在诸如数据线的信号线上，并且钝化层具有接触孔，以使下面的 信号线能够与钝化层上面的不同层接触。钝化层可以由有机层或无机层制成。当钝化层由 无机层制成时，在无机层上涂覆光敏膜来形成接触孔，而当钝化层由有机层制成时，在通过 使用有机层作为掩模形成接触孔之后，还需要使用氧气进行抛光处理。然而，在钝化层中形成接触孔，或执行抛光处理的过程中，会在包括铜的信号线表 面生成杂质粒子，并且信号线的颜色改变，指示该表面被污染，使得接触特性劣化。在该
技术介绍
部分所公开的上述信息仅用于增强对本...
【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列面板，包括：基板；信号线，设置在所述基板上并包括铜；钝化层，设置在所述信号线上，并具有暴露所述信号线的一部分的接触孔；以及导电层，设置在所述钝化层上，并通过所述接触孔连接至所述信号线的所述部分，其中，所述钝化层包括有机钝化层，所述有机钝化层包括不包含硫的有机绝缘体。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔新逸，丁有光，李基晔，杨东周，宋溱镐，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。