【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行等离子体化学沉积PIN 层时在设备内的传动装置，具体的说是一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置。
技术介绍
在现有太阳能电池生产中，等离子体化学气相沉积装置的传动装置一直不规范， 各种各样的传动装置都不够稳定，对太阳能电池的转换效率有较大的影响，需要寻找一种 稳定的机械传动装置，保证在传输的过程中，稳定的对太阳能电池进行沉积，进而提高太阳 能电池的转换效率。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种在太阳能电池生产中，对太阳能电池进行等离子体化学沉积PIN层时，快速、稳定，能够提高太阳能电池的转换效率的机械传动装置。本技术的目的是这样实现的该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室设置在B方向的导轨上，运载小车被设置在导轨上，下片台设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台和下片台上设置有机械手。 本技术由于采用上述结构，使得等离子体化学气相沉积的传动更加稳定，具有结构简单、使用方便等优点。附图说明图1为本...
【技术保护点】
一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置，其特征在于：该传动装置包括机械手（１）、上片台（２）、运载小车（３）、导轨（４）、沉积舱室（５）、下片台（６），所述的导轨（４）构成一个矩形回路，其中上片台（２）设置回路中Ａ方向和Ｄ方向的交界处，多个沉积舱室（５）设置在Ｂ方向的导轨上，运载小车（３）被设置在导轨（４）上，下片台（６）设置在回路中Ｃ方向和Ｄ方向的交界处，所述的上片台（２）和下片台（６）上设置有机械手（１）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，刘志才，崔庆春，孙学义，马力斌，强艳建，杜宏荀，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。