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本实用新型涉及一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置，该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中Ａ方向和Ｄ方向的交界处，多个沉积舱室设置在Ｂ方向的导轨上，运载小车被设...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

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