【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种薄膜型可光降解的转印材料。
技术介绍
一般而言,作为薄膜型光敏转印材料,通常使用干膜型光敏转印材料(下文,称为 “干膜光致抗蚀剂”)。通常,干膜光致抗蚀剂一般用于形成印刷线路板、印刷电路板以及集成电路组件, 其包括支持膜、光致抗蚀剂层和覆盖膜三层。依据光学原理的不同,干膜光致抗蚀剂包括负型干膜光致抗蚀剂和正型干膜光致 抗蚀剂。对于负型干膜光致抗蚀剂,在其曝光部位进行光交联反应,用碱洗去其未曝光部 位,从而在其上形成光致抗蚀剂图形。对于正型干膜光致抗蚀剂,在其曝光部位进行光降解 反应,并用碱显影,从而光致抗蚀剂图形在未曝光部位上形成。对于正型干膜光致抗蚀剂,光致抗蚀剂层包括通过光反应的光敏化合物和碱溶性 树脂,并因为光致抗蚀剂所制成的溶液形成膜而具有预定的粘合性。在干膜光致抗蚀剂中,支持膜用于支撑光致抗蚀剂层,并使具有粘合性的光致抗 蚀剂层在光致抗蚀剂层曝光时易于处理。进一步地,在干膜光致抗蚀剂中,覆盖膜在未形成 有支持膜的光致抗蚀剂层上形成,且用于防止光致抗蚀剂层被损坏。根据使用干膜光致抗蚀剂形成图形的方法,例如正型干膜光致抗蚀剂,当此方法 ...
【技术保护点】
一种薄膜型可光降解的转印材料,包括: 支持膜; 树脂保护层; 可光降解的光致抗蚀剂层;和 覆盖膜, 其中,所述树脂保护层的粘合力为0.05kgf或小于0.05kgf,该粘合力定义为,在所述支持膜已从树脂保护层上分离出,然后将一单独的PET膜层压于树脂保护层上后,将该PET膜从树脂保护层上由距起始剥离点5cm剥离到距起始剥离点8cm所需要的力。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:文熙岏,李炳逸,
申请(专利权)人:可隆工业株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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