一种步进式微区压印系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种步进式微区压印系统，包括放置待压印基板的工作平台，安装压印模仁的压印头及其驱动装置，固化结构及控制装置；以待压印基板所在平面为ｘ－ｙ平面，所述工作平台与所述压印头具有ｘ轴和ｙ轴方向的相对平移运动自由度，所述压印模仁的驱动装置包括数控的使压印模仁绕ｚ轴旋转的旋转运动装置和数控的ｚ轴方向的平移运动装置，所述控制装置提供各运动装置的控制信号、固化信号，并实现压力控制。本实用新型专利技术采用了结构合理的压印模仁的驱动装置，并配合自调平机构，提高了模仁压入的平衡、均匀及其与基板表面的垂直性，使整个装置具有稳定的压力输出，避免了压印模仁的损耗。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种步进式微区压印系统，包括放置待压印基板（３８）的工作平台（１３），安装压印模仁（３０）的压印头（３１）及其驱动装置，固化结构及控制装置；以待压印基板（３８）所在平面为ｘ－ｙ平面，所述工作平台（１３）与所述压印头（３１）具有ｘ轴和ｙ轴方向的相对平移运动自由度，所述压印模仁（３０）的驱动装置包括数控的使压印模仁绕ｚ轴旋转的旋转运动装置和数控的ｚ轴方向的平移运动装置，所述控制装置（１８）提供各运动装置的控制信号、固化信号，并实现压力控制；其特征在于，所述数控的使压印模仁绕ｚ轴旋转的旋转运动装置和数控的ｚ轴方向的平移运动装置的结构为：压印头连接板（７）上设有伺服电机（８），伺服电机（８）驱动连接板（２３）沿ｚ轴方向上下运动，构成所述平移运动装置；伺服电机（３５）控制主同步带轮（３４），并通过主同步带轮（３４）同步带动从同步带轮（２７）转动，压印头（３１）通过隔热板（２８）与从同步带轮（２７）连接，构成所述旋转运动装置；压印头（３１）的底部设有压印模仁（３０），所述压印头上还设有自调平机构（３３），所述自调平机构（３３）通过第一减压阀（５）和第二减压阀（２０）分别控制平移运动装置导向驱动器（２５）的上、下气缸的气体压力；所述压印头（３１）上还设有加热器（２９）和温度传感器（３２）。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：皮利华，申溯，楼益民，庄孝磊，周芳，陈林森，
申请(专利权)人：苏州苏大维格光电科技股份有限公司，苏州大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]