可变陶瓷真空电容器结构改良制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连，拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外侧并与外壳固连，定位导套、套筒和拉杆上分别设有至少一个气孔，可快速释放因摩擦产生的热量，使滑动更顺畅，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提高到两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期，降低半导体加工设备的使用成本。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种可变陶瓷真空电容器，特别涉及一 种可变陶瓷真空电容器结构改良。
技术介绍
目前，根据国家标准GB/T 3788-1995的要求，可变陶瓷 真空电容器的机械寿命为五千至两万次。此标准适用于广播发 射与髙频加热设备中可变陶瓷真空电容器的寿命要求。随着科 学技术的进步，目前可变陶瓷真空电容器已经大量应用于半导 体加工设备，对可变陶瓷真空电容器的机械寿命提出了更高的 要求，此要求是现有的通用结构无法满足的。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种可变陶瓷真空 电容器结构改良，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命大大提 高，从而降低了半导体加工设备的使用成本。本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一 种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套 筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和 外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮 合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连， 拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外 侧并与外壳固连，调节螺杆在传动件带动下正反交替旋转，调 节螺杆的旋转则带动调节螺母上下做直线运动，调节螺母则通 过带动拉杆上下运动而带动电极上下作直线运动，从而调节可 变陶瓷真空电容器的电容，定位导套、套筒和拉杆上分别设有 至少一个气孔，当拉杆带动电极上下直线运动时，由于摩擦会 产生热量，气孔可将热量排出，防止拉杆与定位导套因摩擦产 生的热量影响材料表面从而导致滑动不顺畅。作为本技术的进一步改进，定位导套与拉杆之间及调 节螺杆与调节螺母之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂，可有效 防止零件在反复的机械运动中卡死，使运动更加顺畅。作为本技术的进一步改进，调节螺母采用耐磨材料， 调节螺杆和拉杆表面进行耐磨处理，耐磨处理方法有很多，都 是此领域普通工程技术人员所熟知的，比如采用气相沉积方法 在零件表面涂覆一层耐磨物质，使表面坚硬且光滑平整。作为本技术的进一步改进，波纹管单波位移量提高到1.8mm，有效提高了波纹管的密封性。本技术的有益技术效果是本技术在不改变产品 安装尺寸的情况下，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提髙到 两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期， 降低半导体加工设备的使用成本。附图说明图1为本技术的内部结构示意图。具体实施方式实施例 一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒l、调节螺杆2、调节螺母3、拉杆4、定位 导套5、波纹管6、电极7和外壳8，调节螺杆2—端与传动 件固连，另一端与调节螺母3自由啮合，调节螺母3与拉杆4 一端固连，拉杆4另一端与电极7 —端固连，拉杆4外侧套设 有定位导套5，定位导套5—端与外壳8内壁固连，定位导套 5外侧套设有波纹管6，套筒1套设于调节螺杆2和调节螺母 3外侧并与外壳8固连，调节螺杆2在传动件带动下正反交替 旋转，调节螺杆2的旋转则带动调节螺母3上下做直线运动， 调节螺母3则通过带动拉杆4上下运动而带动电极7上下作直 线运动，从而调节可变陶瓷真空电容器的电容，定位导套5、 套筒1和拉杆4上分别设有至少一个气孔9，当拉杆4带动电 极7上下直线运动时，由于摩擦会产生热量，气孔9可将热量 排出，防止拉杆4与定位导套5因摩擦产生的热量影响材料表 面从而导致滑动不顺畅。所述定位导套5与拉杆4之间及调节螺杆2与调节螺母3之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂，可有效防止零件在反复的 机械运动中卡死，使运动更加顺畅。所述调节螺母3采用耐磨材料，调节螺杆2和拉杆4表面 进行耐磨处理，耐磨处理方法有很多，都是此领域普通工程技 术人员所熟知的，比郊采用气相沉积方法在零件表面涂覆一层 耐磨物质，使表面坚硬且光滑平整。 所述波纹管6单波位移量提高到1. 8mm，有效提高了波纹 管的密封性。权利要求1.一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒(1)、调节螺杆(2)、调节螺母(3)、拉杆(4)、定位导套(5)、波纹管(6)、电极(7)和外壳(8)，调节螺杆(2)一端与传动件固连，另一端与调节螺母(3)自由啮合，调节螺母(3)与拉杆(4)一端固连，拉杆(4)另一端与电极(7)一端固连，拉杆(4)外侧套设有定位导套(5)，定位导套(5)一端与外壳(8)内壁固连，定位导套(5)外侧套设有波纹管(6)，套筒(1)套设于调节螺杆(2)和调节螺母(3)外侧并与外壳(8)固连，其特征为定位导套(5)、套筒(1)和拉杆(4)上分别设有至少一个气孔(9)。2. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为定位导套与拉杆之间及调节螺杆与调节螺母 之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂。3. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为调节螺母采用耐磨材料，调节螺杆和拉杆表 面进行耐磨处理。4. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为波纹管单波位移量提高到1. 8mm。专利摘要本技术公开了一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连，拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外侧并与外壳固连，定位导套、套筒和拉杆上分别设有至少一个气孔，可快速释放因摩擦产生的热量，使滑动更顺畅，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提高到两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期，降低半导体加工设备的使用成本。文档编号H01G5/16GK201374254SQ200920035689公开日2009年12月30日 申请日期2009年3月16日 优先权日2009年3月16日专利技术者尹剑平, 张立云, 涛 方, 王淮飞, 赖萍南, 浩 黄, 黄清河 申请人:昆山国力真空电器有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒（１）、调节螺杆（２）、调节螺母（３）、拉杆（４）、定位导套（５）、波纹管（６）、电极（７）和外壳（８），调节螺杆（２）一端与传动件固连，另一端与调节螺母（３）自由啮合，调节螺母（３）与拉杆（４）一端固连，拉杆（４）另一端与电极（７）一端固连，拉杆（４）外侧套设有定位导套（５），定位导套（５）一端与外壳（８）内壁固连，定位导套（５）外侧套设有波纹管（６），套筒（１）套设于调节螺杆（２）和调节螺母（３）外侧并与外壳（８）固连，其特征为：定位导套（５）、套筒（１）和拉杆（４）上分别设有至少一个气孔（９）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尹剑平，黄浩，黄清河，张立云，方涛，赖萍南，王淮飞，
申请(专利权)人：昆山国力真空电器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]