【技术实现步骤摘要】
本技术涉及在太阳电池生产过程中使用的一种承载 加热装置，特别涉及一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置。
技术介绍
太阳电池生产工艺包括清洗制绒、扩散、刻蚀、去磷硅玻 璃、镀膜、印刷电极、烧结和测试分选工序，其中在扩散工序 中需将硅片放入石英承载加热装置中，再将该装置放入太阳 电池扩散炉中进行扩散。现有的石英承载加热装置主要是由 加热炉体、设在加热炉体内的石英管、设在石英管进料口一 端的石英门、由石英门插入石英管内的悬臂桨以及设在石英 管内安装在悬臂桨上的石英舟构成，其石英管主腔体的长度为2380mm。由于石英管较长，炉口 (即石英管管口)距离加热 炉体内的加热区比较远，因此在生产过程中炉口的温度低于扩 散用工艺气体所产生的偏磷酸的沸点，造成每次扩散工艺后在 炉口处都会沉积大量的偏磷酸，对设备、产品和工艺环境都有 很大的不良影响。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种能够大量减少偏磷酸沉 积，从而提高产品质量，减少对环境和设备污染的太阳电池3扩散炉石英承载加热装置。本技术是这样实现的它有一个由加热管盘绕而成 的加热炉体，在加热炉体内插装有石英管，石英管一端引出 排...
【技术保护点】
一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置，包括一个由加热管盘绕而成的加热炉体，在加热炉体内插装有石英管，石英管一端引出排气孔，另一端口设有密封石英门，在石英管内插入有悬臂桨，在悬臂桨上位于石英管内设有石英舟，在悬臂桨上位于石英门外设有缓冲支撑装置，其特征是：所述的石英管主腔体的长度Ａ为２１６０－２１８０ｍｍ。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏铁，陈琳琳，牛旭，
申请(专利权)人：锦州华昌光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[]
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