下载太阳电池扩散炉石英承载加热装置的技术资料

文档序号:4561255

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本实用新型公开了一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置,解决了现有装置由于石英管过长导致炉口距离加热炉体内的加热区比较远,造成每次扩散工艺后在炉口处都会沉积大量偏磷酸的问题。它有一个加热炉体,在加热炉体内插装有石英管,石英管一端引出排气孔,另一...
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