通过汽相沉积方法结合真空层压来制备有机发光二极管技术

公开了一种制作有机发光二极管（ＯＬＥＤ）的方法，该方法减少ＧＬＥＤ中物理缺陷的形成，该方法包括：从第一和第二衬底（４０、９０）去除尘埃粒子；利用汽相沉积方法（５０、８０）分别涂覆第一和第二衬底；以及在真空中将第一和第二衬底层压在一起。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机发光二极管(OLED)，并且更具体地涉及一种制作 有机发光二极管的方法，该方法减少了 OLED中物理缺陷的形成。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)典型地由有机发光层以及位于该发光层两 侧的附加有机层组成，所述附如有机层促进电荷传输并且包括空穴传输层 和电子传输层。这些有机层夹在两个电极层(即阳极层和阴极层)之间， 这两个电极层都在一侧覆盖有衬底以实现保护作用和稳定性。常规地，通过在高或超高真空中执行的电极层和有机层的汽相沉积来 制造OLED。虽然这种技术在关于每层的厚度控制以及材料的足够的纯度 和良好的层粘附方面提供某些优点，但是关键缺点之一是由于在形成 OLED结构的组成层期间布置的外来不想要的物质的出现而存在物理缺 陷。这些缺陷的直径可能处于几纳米到微米的量级并且能够从OLED的阴 极区域扩展到运送电流的区域。结果，可能出现短路，或者这些缺陷可能 形成针孔，从而引起氧和湿气的渗透，导致由于侵蚀所致的不工作区(即 暗区)并且破坏OLED的发射能力。这种所谓的"暗斑，，是常见问题，并 且通常可归因于尘埃粒子的存在。湿法涂布技术(诸如旋涂)被广泛地用于基于聚合物的发光二极管中， 但该技术具有多层能力不足的缺点。印刷、压印或层压方法很少使用，例如丝网印刷、喷墨印刷、热微印 刷接触或微压印，它们当前仅表现出较差的性能数据。在Cao等人的出版 物"Effects of dust particles and layer properties on organic electronic devices fabricated by stamping" ( J. Appl. Phys. 98, 0033713 ( 2005 ))和Kim等 人的 "Patterning of active organic materials by direct transfer for organic electronic devices" ( J. Appl. Phys. 97, 113512 ( 2005 ))中描述了利用压 制或压印来组装分开制造的OLED层结构。所描述的方法能够被用来压印 图案，其中金属层被冷焊接到薄金属层上并且经由低粘附界面层而保持在 对置衬底上(Cao等人)，或者其中将有机空穴传输层压制到对等层上(Kim等人)。根据这些文件，与刚性印模相比，弹性印模的使用使得更好地包 封尘埃粒子。然而，这些方法是在环境空气下执行的。而且，根据这些方法制造的OLED具有若干缺点，诸如功耗增加以及不同有机层之间的粘附 问题。Lui等人的出版物 "High performance organic light emitting diodes fabricated via a vacuum-free lamination process" ( Appl. Phys. Lett. 88, 223509 ( 2006 ))涉及一种利用滚动层压来组装分开制造的阳极元件和阴 极元件的方法。为了制造电子导体，所述方法与利用碱金属的有机发光聚 合物的n掺杂进行组合。这些实验是在含有低于5ppm氧或水的氩气气氛 中实施的，然而机械粘附度很低并且这些层可以很容易地脱层。
技术实现思路
有利的是提供一种减少OLED结构的组成层中的物理缺陷的形成的 OLED制作方法。当前，大多数OLED通过在高或超高真空中执行的汽相 沉积方法来制造。这些方法的常见问题是在OLED各层的形成期间包括了 外来的不想要的物质，尤其是尘埃粒子。所包括的物质可能展现出锐利的 边缘或者可能在层结构中造成缺陷，所述缺陷可以传播到OLED的后续层。 这会导致短路或形成针孔并且渗透氧和湿气，这将减少OLED的寿命。期 望的是提供一种OLED的制作方法，其中OLED的阴极层保持完好。还期 望提供一种OLED的制作方法，其中针孔的数量被极大地降低。而且，期 望的是提供寿命增加的OLED。为了更好地解决这些问题中的一个或多个，在本专利技术的第一方面，提OLED的传输层不仅用作传输介质而且在某些情况下用作防止湿气和 氧扩散到有源发射层中的緩沖层。因而，对不同OLED层以及它们所放置 的顺序的设计也会影响OLED的寿命。因此，有利的是提供一种提供了更 好的多层结构的制作方法。而且，期望的是提供一种减少层结构中的缺陷 向后续层传播的制作方法。为了更好地解决这些问题，在本专利技术的另 一方面中提供一种用于将分 开制造的OLED结构层压在一起的方法。在本专利技术的另一方面中提供一种OLED,其中改善了层压的OLED层 之间的粘附。在又一方面中，提供一种具有改善的电属性的OLED。 本专利技术的这些及其它方面将通过下文描述的实施例而显现出来并且 将参照这些实施例进行阐述。附图说明图1示出了分开的和被组装为OLED器件的阴极村底和阳极衬底。 图2示出了作为分开的和;波组装为OLED结构的阴极衬底和阳极衬底 的铝箔。图3示出了分开的和被组装为OLED结构的导电软材料和带有阴极层 的阳极村底。本文中所使用的术语"尘埃粒子"意指OLED结构中的任何外来的不想要的物质。具体实施例方式在本专利技术的一个实施例中，提供一种制造OLED的方法，包括以下步 骤提供第一和第二衬底；从所述衬底中去除尘埃粒子；通过汽相沉积方 法分别涂覆第一和第二衬底；以及在真空下将第一和第二衬底层压在一起。所述衬底上的尘埃粒子能够通过若干方法或其组合而在很大程度上 被去除。在一个示例性实施例中，尘埃粒子能够通过例如在超纯水中的超 音波(megasonic)或超声清洗而被去除。在另一个示例性实施例中，尘埃 粒子能够通过对尘埃粒子充电并且在电场中去除至少部分充电的尘埃粒 子而^皮去除。在一个示例性实施例中，尘埃粒子能够利用电子束进行负充电，所述 电子束例如能够通过差动泵浦的电子枪来生成，该枪类似于阴极射线管中 使用的枪。差动泵浦意味着在枪中和阴极周围通过连续泵浦(例如通过涡 轮分子泵)维持例如<10-5 Pa的至少高真空，而在村底周围的惰性气体层 流中能够施加例如10到200 Pa的高得多的压力。典型地，将在电子束的 小孔径/孔的区域中获得高的压力梯度。在一个示例性实施例中，电场可以是大约30到大约100V/cm的均匀 电场，并且能够例如由dc电源生成并被施加到形成电容器的两个导电板 上。例如，这些衬底能够一皮放置在充电后的两个导电板之间，使衬底基部 接触阴极而带有带电粒子的村底表面暴露于指向阳极的电场。阳极板能在在另一示例性实施例中，阴极板被加热到升高的温度，例如加热到大约150-220°C。可选地，这个示例性实施例可以与先前示例性实施例进4亍 组合。在又一示例性实施例中，低压的惰性气体流(例如恒定的惰性气体层 流)有助于将粒子从衬底释放并且将它们收集到阳极上。合适的惰性气体 包括例如氮气、氩气或其他稀有气体(noble gas)。在又一示例性实施例中，对衬底施加温度梯度，其中温度梯度在衬底 的表面处尤其有效并且可以具有大约200。C的温度上限，并且衬底表面暴 露于惰性气体的层流中。在其它实施例中，尘埃粒子能够通过将所述衬底暴露于单独生成的等 离子体(例如微波或RF等离子体)而被去除，其中衬底表面上的尘埃粒 子在活性气体中被充电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制作有机发光二极管的方法，包括以下步骤：　　　　提供第一和第二衬底；　　　　从所述衬底去除尘埃粒子，　　　　通过汽相沉积方法分别涂覆所述第一和第二衬底，以及　　　　在真空下将所述第一和第二衬底层压在一起。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：GF盖特纳，HF博尔纳，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]