用于有机发光二极管器件的防水涂层制造技术

本文描述了一种用于制造无定形类金刚石膜层的方法，所述无定形类金刚石膜层用于保护水分或氧气敏感的电子器件。所述方法包括从硅油中形成等离子体，从所述等离子体中沉积无定形类金刚石膜层，并且将所述无定形类金刚石膜层与水分或氧气敏感的电子器件结合以形成受保护的电子器件。本发明专利技术还公开了包括在有机电子器件上的无定形类金刚石膜层的制品。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于保护水分和/或氧气敏感的电子器件(例如有机发 光二极管器件)的屏蔽涂层。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)器件当暴露于水蒸汽和/或氧气时可能 会降低输出或过早失效。金属和玻璃已用于封装并延长OLED器件的 寿命，但是金属通常缺少透明性而玻璃缺少柔性。正在努力寻找可供 选择的用于OLED和其他电子器件的封装材料。在专利和技术文献中 描述了用于形成屏蔽涂层的多种类型的真空方法的实例。这些方法的 范围跨越电子束蒸镀、热蒸镀、电子回旋共振等离子体增强化学气相 沉积(PECVD)、磁化增强的PECVD、反应性溅射以及其他。存在一种需求，以改善有机电子器件(例如OLED、有机光伏器 件(OPV)和有机晶体管)，以及无机电子器件(例如薄膜晶体管(包 括使用氧化锌(ZnO)、无定形硅(a-Si)和低温多晶硅(LTPSi)制 备的那些))的封装。
技术实现思路
本公开描述了无定形类金刚石膜或涂层，所述膜或涂层通过利用 硅油和可选的硅垸源以形成等离子体的离子增强等离子体化学气相沉 积形成。无定形类金刚石膜在水分或氧气敏感的制品上形成水分或氧 气屏蔽。在一个实施例中，本专利技术描述了一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制造无定形类金刚石膜层的方法，所述无定形类金刚石膜层用于保护对水分或氧气敏感的电子器件，所述方法包括：　从硅油中形成等离子体；　从所述等离子体中沉积无定形类金刚石膜层；以及　将所述无定形类金刚石膜层与水分或氧气敏感 的电子器件结合以形成受保护的电子器件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫塞斯M大卫，弗雷德B麦考密克，马克A勒里希，
申请(专利权)人：三M创新有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]