连接部密封结构及其所用密封构件制造技术

为了对密封构件的拆卸、安装提供一种适宜的连接部密封结构，该连接部密封结构（１）中，在第一部件（２）和第二部件（３）的连接部（１２、２２）处介有密封构件（４），在第一部件（２）的连接部（１２）上形成第一凹凸条（１５），在第二部件（３）的连接部（２２）上形成第二凹凸条（２５），所述密封构件（４）在一面上设有与所述第一凹凸条嵌合（１５）的第一嵌合部（３２），在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合（２５）的第二嵌合部（３３），在所述第一和第二嵌合部（３２、３３）中具备沿壁厚方向的压入部（３４）；所述密封构件（４）具有从设有第一和第二嵌合部（３２、３３）的环状的主体部（３１）向外周方向伸出的伸出部（３５），伸出部（３５）从第一和第二部件（２、３）的连接部（１２、２２）向外侧突出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件的连 接部密封结构及其所用密封构件。
技术介绍
一直以来，在半导体制造工艺、液晶制造工艺等化学液体控制中， 使用流量控制阀和开闭阀等阀门类、过滤器、压力传感器和流量传感 器等传感器类、接头组件及流路组件等配管组件类等流体设备。近年 来，为了装置的紧凑化，将这些流体设备的连接部彼此直接连接而将 连接部分密封，进行单元化。作为在第一部件和第二部件的连接部处 介有密封构件的连接部密封结构，存在例如专利文献1所述的结构。图36为应用了现有的连接部密封结构的集成板1100的剖面图。集成板1100为在板材1101的上表面通过螺钉1116固定有阀1102 的部件，在板材1101和阀1102处介有密封构件1112。板材1101的材质为氟树脂。与第一通道1103连通的纵通路1104、 和与第二通道1105连通并在纵通路1104的周围形成为环状的纵环形 通路1106在板材1101的连接部1101a上开口。连接部1101a中，在通 路1104、 1106的外侧设有具有环状突起1107的凹凸条。另一方面， 阀1102具有氟树脂制的流路组件1108。与板材1101的纵通路1104对 应的供给侧通路1109、和与板材1101的纵环形通路1106对应的环状 的排出侧通路1110在流路组件1108的连接部1108a上开口。连接部 1108a中，在通路1109、 1110的外侧设置有具有环状突起1111的凹凸 条。密封构件1112由氟树脂环状地成形，在两端面上形成与环状突起1107、 1111嵌合的环状槽1113、 1114。环状槽1113、 1114的槽宽度 设定为环状突起的槽宽度的0.75 0.85倍，环状突起1107、 1111的外 周面和内周面压接于与环状槽1113、 1114相对应的内外侧周面。并且， 在密封构件1112的外周壁上，环状的装卸法兰盘1115横向突出。装 卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、 1108a的间隙W小的值。在安装密封构件1112时，以将板材1101的环状突起1107插入密 封构件1112的环状槽1113中的方式将密封构件1112设置在板材1101 上之后，以将流路组件1108的环状突起1111插入密封构件1112的环 状槽1114中的方式将阀1102设置在板材1101上，之后，通过拧紧螺 钉1116，将环状突起1107、 1111嵌入密封构件1112的环状槽1113、 1114中。与此相对，在拆卸密封构件1112的情况下，拆卸螺钉11.16而使 阀1102从板材1101分离时，由于密封构件1112紧贴于板材1101或 流路组件1108中的一个，所以用工具或手指拉扯密封构件1112的装 卸法兰盘1115，将密封构件1112从板材1101或流路组件1108的凹凸 条拆下。专利文献1:日本特开2006-90378号公报(参照第11页、段落 0041)
技术实现思路
但是，现有的连接部密封结构中，密封构件1112的装卸法兰盘 1115较小，且收容于连接部1101a、 1108a之间，因此难以用手指揪住。 因此，在现有的连接部密封结构中，不得不用工具夹住装卸法兰盘1115 而将其拉扯，但是可能会出现作业时工具与连接部1101a、 1108a摩擦 或碰撞等而使连接部1101a、 1108a受到损伤的情况。在连接部1101a、1108a受到损伤的情况下，为了防止出现流体从损伤部分的泄漏，必须 整个更换板材1101或流路组件1108，在密封构件1112的拆卸作业上耗费工吋。假设，即使能用手指揪住装卸法兰盘1115，但为了防止在通过螺 钉1116将流路组件1108安装在板材1101上时，装卸法兰盘1115紧 贴于板材1101的连接部1101a或流路组件1108的连接部1108a，所以 装卸法兰盘1115的厚度设定为比连接部1101a、 1108a的间隙W小的值，变得较薄。因此，在用手指捏住装卸法兰盘1115而拉扯时，装卸 法兰盘1115可能会被撕下而破损，并不实用。因此，希望一种能够用手工作业简单地将介于第一部件和第二部 件之间的密封构件拆卸的连接部密封结构。此外，现有的连接部密封结构包含开口部，在密封构件1112上形 成的环状槽1113、 1114的槽宽度比环状突起1107、 1111的宽度小。 因此，直至将环状突起1107、 1111的前端压入环状槽1113、 1114中 为止，第一和第二部件与密封构件的位置关系不稳定，难以将环状突 起1107、 1111压入环状槽1113、 1114中。因此，希望一种易于将环 状突起压入环状槽且密封构件的安装性良好的连接部密封结构。本专利技术为了解决上述问题而提出，目的是提供一种适于密封构件 的拆卸/安装作业的连接部密封结构。本专利技术的连接部密封结构，具有下述构成。(1) 一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介 有密封构件，所述第一部件在连接部上形成第一凹凸条，所述第二部 件在连接部上形成第二凹凸条，所述密封构件在一面上设有与所述第 一凹凸条嵌合的第一嵌合部，在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合的第二嵌合部，在所述第一和第二嵌合部中具备沿壁厚方向的压入部，其中，所述密封构件具有从设有所述第一和第二嵌合部的环状的主体部向外周方向伸出的伸出部，所述伸出部从所述第一和所述第二部件的连接部向外侧突出。(2) 在(1)所述的专利技术中，所述密封构件在所述伸出部的端部上具有沿相对于所述伸出部正交的方向延伸的把持部。(3) 在(1)或(2)所述的专利技术中，所述密封构件中，定位凸部以与所述主体部的轴线平行延伸的方式设置在所述伸出部的两端面上，所述第一部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第一定位孔部，所述第二部件设有供所述定位凸部嵌入而定位的第二定位孔部。(4) 一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状突起，在所述第二部件的连接部上形成第二环状突起，所述密封构件在一面上设有与所述第一环状突起嵌合的第一环状槽，在另一面上设有与所述第二环状突起嵌合的第二环状槽，在所述第一和第二环状槽中具备沿壁厚方向的压入部，通过将所述第一和第二环状突起压入所述第一和第二环状槽的压入部而进行密封，其中，将所述第一和第二环状突起从所述第一和第二环状槽的开口部向所述压入部引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状槽的开口部上。(5) —种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一环状槽，在所述第二部件的连接部上形成第二环状槽，所述密封构件在一面上设有嵌合于所述第一环状槽的第一环状突起，在另一面上设有嵌合于所述第二环状槽的第二环状突起，在所述第一和第二环状突起上具备沿壁厚方向的压入部，以将所述第一和第二环状突起的压入部压入所述第一和第二环状槽的方式使所述第一和第二环状突起嵌合于所述第一和第二环状槽，由此进行密封，其中，将所述第一和第二环状突起的压入部向所述第一和第二环状槽引导的引导部设置在所述密封构件的所述第一和第二环状突起的前端部上。(6) —种连接部密封结构，第一部件和第二部件沿流路开口部的周围设有环状凹凸条，在所述第一部件和所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连接部密封结构，在第一部件和第二部件的连接部处介有密封构件，在所述第一部件的连接部上形成第一凹凸条，在所述第二部件的连接部上形成第二凹凸条，所述密封构件在一面上设有与所述第一凹凸条嵌合的第一嵌合部，在另一面上设有与所述第二凹凸条嵌合的第二嵌合部，在所述第一和第二嵌合部中具备沿壁厚方向的压入部，其特征在于，　所述密封构件具有从设有所述第一和第二嵌合部的环状的主体部向外周方向伸出的伸出部，所述伸出部从所述第一和所述第二部件的连接部向外侧突出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹田秀行，土屋文人，石原哲哉，
申请(专利权)人：喜开理株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]