用于加工材料的大气压等离子体加工方法技术

技术编号:4491212 阅读:172 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
用于加工材料的等离子体处理方法,包括了使材料经受基本上大气压的等离子体的步骤,从而免除了提供昂贵的真空装置和泵组件的需要,同时即使在受控的工作环境下也易于连续和快速的处理。取决于被加工的材料的不同,可以使用若干加工方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一般地用于加工材料的大气压等离子体处理加工方法。
技术介绍
众所周知,基于等离子体加工的技术或方法在大量的工业领域中 是非常重要的,并且主要在微电子领域中,它们已经变得几乎必不可少。其它有利地使用上述技术或方法的示例性领域是航天、汽车、钢 铁制造、废物处理和生物医学领域,在这些领域中,通过使用等离子 体工艺,例如能够硬化表面、改变光学性质、中和有毒物质和改进被 加工的材料的生物相容性。与例如传统的化学工艺相比,通过使所述材料经受等离子体的所 述材料的表面修整, 一般来说具有若干优点。事实上,等离子体工艺是不要求可能代表了对环境的危险的溶剂 或者化学产品的干法工艺,此外,通过上面提到的等离子体工艺提供 的修整只影响下层或基底的表面层,而不改变被加工的材料的总体物 理机械性质。大部分工业等离子体工艺,通过利用真空方法,在低压稀薄气体中(通常在10"到几十毫巴的压力下)进行。在这些条件下,获得了所谓的"辉光放电"等离子体的非常均匀的等离子体。这样的等离子体通常通过向稀薄气体施加电场而产生。电场可以是连续的或交替的电场,操作频率从微波到光辐射(激 光)频率变化。在等离子体中产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一般地用于加工材料的等离子体加工方法,其特征在于所述方法包括使要被加工的材料的至少一个表面经受基本上大气压的等离子体的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:克劳迪娅里卡迪庖拉艾萨纳鲁格罗阿尔弗雷多巴里尼里卡多斯里普兰迪斯蒂法诺杂尼妮
申请(专利权)人:米兰比可卡大学
类型:发明
国别省市:IT[]

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