本发明专利技术涉及介质阻挡放电技术领，具体地说是一种基于介质阻挡放电技术的平板型全密封低温等离子体激发源，其特征在于设有两片陶瓷片，两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸，粘合的两片陶瓷片的周边分别设有石英窗片、进气口和排气口，本发明专利技术采用平板型设计，提高了激发效率；采用高纯Ａｌ２Ｏ３陶瓷平板为介质材料，提高了器件的热稳定性和耐高电压特性；该器件使用石英窗片完全封闭放电室，隔绝了大气，作为光发射光谱系统的激发源，激发目标组分产生特征激发谱线不受空气背景信号干扰，增强了目标组分的光谱信息，提高了目标组分的检测灵敏度和器件的热稳定性和耐高电压特性，器件工作更加稳定。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及介质阻挡放电(Dielectric-Barrier Discharge, DBD)
，具 体地说是一种基于介质阻挡放电技术的平板型全密封低温等离子体激发源。
技术介绍
基于介质阻挡放电技术的低温等离子体激发源，具有工作温度低、能耗少、体积 小等优点，十分有利于仪器的小型化。该类型的器件作为原子发射光谱系统的激发源，已经 成为环境微量污染物分析，特别是重金属分析的研究热点。但在大气氛条件下工作时，DBD 激发源在激发目标组分的同时，也激发了空气中的N2和O2 (特别是N2),产生的大气背景信 号覆盖或干扰了目标物质的特征激发谱线，从而影响到了对目标组分的机理研究和检测灵 敏度。另外被电离的大气中的N2和O2还会产生大量的高活性自由基，导致与目标组分发 生等离子体化学反应，也不利于对目标组分的定性、定量分析。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述现有技术的不足，提供一种不仅可以消除空气背景干 扰，而且可以提高目标组分检测灵敏度的基于介质阻挡放电技术的平板型全密封低温等离 子体激发源。本专利技术可以通过如下措施达到。一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于由两 片长方形陶瓷片平行粘合在一起形成的一个中空放电室，组成中空放电室的陶瓷片外侧面 上分别粘贴有锡箔纸作为放电电极，中空放电室的前端用石英窗片密封，后端留有进气口、 侧面留有排气口。本专利技术的中空放电室呈长方体形，石英窗片粘贴在放电室的前端，起透光和隔绝 大气的作用，进气口设在与石英窗片相对的放电室后端，可以方便的导入载气和目标组分， 排气口设在与石英窗片邻近的侧面上，将分析后的工作气体排出DBD激发室。本专利技术采用高纯Al2O3陶瓷平板作为介质材料，提高了器件的热稳定性，增强了器 件的耐高电压能力，平板型设计还增大了放电面积，提高了激发效率；该器件使用石英窗片 完全封闭放电室，隔绝了外界环境中的大气，作为光发射光谱系统的激发源，全密封的DBD 激发源激发目标组分产生特征激发谱线不再受空气背景信号的干扰，增强了目标组分的光 谱信息，提高了目标组分的检测灵敏度，而且器件工作更加稳定。附图说明。图1是本专利技术的一种结构示意图。图2是图1的A向视图。图3是图1的B向视图。具体实施方式。下面结合附图对本专利技术作进一步描述如图所示，一种基于介质阻挡放电技术的平板型全密封低温等离子体激发源，由两片 外侧粘贴锡箔纸2 (长40mm，宽IOmm)的陶瓷片1 (长50mm，宽20mm，厚Imm)平行粘合在一 起形成一个厚度为Imm的中空放电室(长40mm，宽10mm)，其中前端的短边为光发射端，在 光发射端粘贴石英窗片3(长20mm，宽3mm，厚Imm)将形成的中空放电室和外界大气隔绝，防 止放电室在施加高频高压交流电信号时产生的低温等离子体激发空气中的N2和02，从而避 免了干扰信号的产生和新生成的氮、氧自由基与目标组分的化学反应，在发射端相对应的 后端面和邻近发射端的外侧面上分别留有进气口和排气口 4，载气(如Ar或He)携带目标组 分由进气口进入中空放电室(激发室)，完成目标组分的激发后再由出气口排出放电室。光 谱仪可以借助于光纤探头将光发射端的信号耦合入光谱仪，实现目标激发特征光谱的纪录 和分析。锡箔纸电极的边沿和陶瓷片的边沿间距5mm是为了防止两电极在放电室侧面直接 击穿大气，无法完成对放电室中的载气和组分的激发。该专利技术区别于现有专利技术的特点如下(1)采用平板型设计增大了放电面积，提高 了激发效率；(2)采用高纯Al2O3陶瓷平板为介质材料，提高了器件的热稳定性和耐高电压 特性，仪器工作更加稳定；(3)该器件使用石英窗片完全封闭放电室，隔绝了外界大气，作 为光发射光谱系统的激发源，激发目标组分产生特征激发谱线不再受空气背景信号干扰， 提高了目标组分的检测灵敏度。本专利技术优点是本专利技术采用石英窗片，将DBD激发室完全封闭，阻止了载气(Ar或 He)产生的低温等离子体和外界大气的接触。该项专利技术不仅克服了空气中的队和02激发谱 线对目标组分特征激发谱线的覆盖，提高了目标组分的检测灵敏度，而且消除了激发N2和 O2产生的活性自由基和目标组分间的离子化学反应；另外，采用高纯Al2O3陶瓷平板为介质 材料，提高了器件的热稳定性和耐高电压特性，使器件工作更加稳定。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于由两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，组成中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸作为放电电极，粘合的两片陶瓷片的周边分别设有石英窗片、进气口和排气口。
【技术特征摘要】
CN 2010-8-13 201010252940.1一种基于介质阻挡放电技术的平板全密封低温等离子体激发源，其特征在于由两片陶瓷片平行粘合在一起形成一个中空放电室，组成中空放电室外侧的陶瓷片上分别粘贴有锡箔纸作为放电电极，粘合的两片陶瓷片的...
【专利技术属性】
技术研发人员：武中臣，张鹏彦，陶琳，
申请(专利权)人：武中臣，
类型：发明
国别省市：37[]
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